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產(chǎn)品資料

RPS8000/RPS8100/DPS8000/DPS8200高精度硅諧振壓力傳感器

RPS8000/RPS8100/DPS8000/DPS8200高精度硅諧振壓力傳感器
簡單介紹
GE DRUCK德魯克RPS8000/RPS8100/DPS8000/DPS8200高精度硅諧振壓力傳感器采用世界zui前沿的TERPS技術(shù)而研發(fā)出的ZUI新產(chǎn)品,是溝槽刻蝕TERPS硅諧振壓力傳感器技術(shù).與現(xiàn)有的壓力測量技術(shù)相比,它可提供更高等級的精度和長期穩(wěn)定性。溝槽刻蝕TERPS硅諧振壓力傳感器技術(shù)還將壓力量程擴(kuò)展到更高的范圍,并通過引入真正的介質(zhì)隔離結(jié)構(gòu)極大程度地提高了傳感器對惡劣環(huán)境的適用性。GE DRUCK德魯克RPS8000/RPS8100/DPS8000/DPS8200高精度硅諧振壓力傳感器提高壓力測量精度 。高精度,±0.01% FS(在補(bǔ)償溫度范圍內(nèi));高穩(wěn)定性,±100 ppm FS/年。
產(chǎn)品描述

GE DRUCK德魯克RPS8000/RPS8100/DPS8000/DPS8200高精度硅諧振壓力傳感器

    

GE DRUCK德魯克RPS8000/RPS8100/DPS8000/DPS8200高精度硅諧振壓力傳感器采用世界zui前沿的TERPS技術(shù)而研發(fā)出的ZUI新產(chǎn)品,是溝槽刻蝕TERPS硅諧振壓力傳感器技術(shù).與現(xiàn)有的壓力測量技術(shù)相比,它可提供更高等級的精度和長期穩(wěn)定性。溝槽刻蝕TERPS硅諧振壓力傳感器技術(shù)還將壓力量程擴(kuò)展到更高的范圍,并通過引入真正的介質(zhì)隔離結(jié)構(gòu)極大程度地提高了傳感器對惡劣環(huán)境的適用性。GE DRUCK德魯克RPS8000/RPS8100/DPS8000/DPS8200高精度硅諧振壓力傳感器提高壓力測量精度 。RPS8000為方形波頻率輸出,DPS8000為RS232或者RS485數(shù)字輸出。


GE DRUCK德魯克RPS8000/RPS8100/DPS8000/DPS8200高精度硅諧振壓力傳感器利用全新的TERPS技術(shù)進(jìn)行設(shè)計(jì)

? 高精度,±0.01% FS(在補(bǔ)償溫度范圍內(nèi))

?高度穩(wěn)定,±100 ppm FS/年

? 壓力范圍從2 bar(30 psi)至 70 bar(1000 psi)

?溫度范圍寬, -40 °C 至+85 °C(-40 °F至185 °F)

? 采用介質(zhì)隔離結(jié)構(gòu),適用于惡劣環(huán)境

? 多輸出配置,頻率TTL和二極管,RS232和RS485數(shù)字量

當(dāng)開發(fā)這種新的TERPS技術(shù)時(shí),我們主要是為了提供一種具有*高精度和穩(wěn)定性的傳感器,可以用于較大的壓力和溫度范圍;并且具有堅(jiān)固、可靠的包裝,可用于惡劣環(huán)境。

 

GE DRUCK德魯克RPS8000/RPS8100/DPS8000/DPS8200高精度硅諧振壓力傳感器高精度和穩(wěn)定性

用硅改善性能:





我們在制造TERPS諧振器元件時(shí)充分利用了硅的力學(xué)性能。

為了優(yōu)化和平衡諧振器的設(shè)計(jì),我們采用了深度反應(yīng)離子刻蝕(DRIE)硅技工技術(shù)。 DRIE可以設(shè)計(jì)具有復(fù)雜和多變幾何形狀的結(jié)構(gòu)。

精度為0.01% FS(100 ppm)

穩(wěn)定性為0.01% FS/年(100 ppm)


GE DRUCK德魯克RPS8000/RPS8100/DPS8000/DPS8200高精度硅諧振壓力傳感器性能指標(biāo):

性能指標(biāo)有兩個(gè)等級可選:標(biāo)準(zhǔn)級和提上等。

以下精度指標(biāo)包含非線性、遲滯、重復(fù)性的綜合影響以及全補(bǔ)償溫度范圍內(nèi)的溫度影響。

選型代碼精度準(zhǔn)確度(GE數(shù)字式壓力傳感器RPS8000/DPS8000系列)

A1-標(biāo)準(zhǔn)級 精度:0.02%FS  準(zhǔn)確度:0.0225%FS

A2-提上等 精度:0.01%FS  準(zhǔn)確度: 0.0144%FS

對于頻率輸出模式,上述精度可通過根據(jù)隨傳感器提供的多項(xiàng)式曲線擬和算法及相應(yīng)系數(shù)計(jì)算得到。

補(bǔ)償溫度范圍:兩種補(bǔ)償溫度范圍可選:-10°C - 50°C和-40°C - 85°C、溫度影響:所有溫度影響已包含在精度指標(biāo)內(nèi)、長期穩(wěn)定性:標(biāo)準(zhǔn)級:±0.02%FS/年、提上等:±0.01%FS/年。

注:除非另有說明,上述技術(shù)指標(biāo)均在參考條件下獲得:25°C±5°C

  

GE DRUCK德魯克RPS8000/RPS8100/DPS8000/DPS8200高精度硅諧振壓力傳感器測量指標(biāo):

壓力量程

RPS8000|DPS8000系列:200kPa, 700kPa, 1.4MPa, 2MPa, 3.5MPa, 7MPa, 20MPa絕壓用戶可選校驗(yàn)量程為0~100kPa至0~7MPa絕壓之間任意意選擇,*大20MPa

RPS8100|DPS8100系列:200kPa, 350kPa絕壓,用戶可選校驗(yàn)量程為3.5kPa~350kPa 絕壓;3.5kPa~200kPa 絕壓;75kPa~115kPa 大氣壓;0~100kPa至0~350kPa絕壓之間任意選擇。

RPS8200/DPS8200/RPS8300/DPS8300系列:200kPa, 700kPa, 1.4MPa, 2MPa, 3.5MPa, 7MPa, 20MPa絕壓

*大過壓

DPS8000/DPS8200/DPS8300/RPS8000/RPS8200/RPS8300 1.5xFS

DPS8100/RPS8100 2xFS

*大破壞壓力(DPS8000/DPS8200/DPS8300/(RPS8000/RPS8200/RPS8300)  2.0xFS


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