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黛爾特（北京）科技有限公司
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MEMS氫氣傳感器|氦氣傳感器 | XEN-3880熱導(dǎo)氣體傳感器元件 | 量熱計傳感器敏感元件芯片 | 皮拉尼真空計傳感器

產(chǎn)品圖片	產(chǎn)品名稱/型號	產(chǎn)品簡單介紹
	電解水應(yīng)用氧中氫傳感器	在電解水制氫氣過程中，氧中氫傳感器是確保系統(tǒng)安全性和效率的關(guān)鍵設(shè)備，主要用于監(jiān)測電解槽氧氣側(cè)產(chǎn)物中殘留的氫氣濃度。氫氣安全監(jiān)測和膜新能研究工藝優(yōu)化與效率提升是其具體應(yīng)用和重要性。TCD-HP-H2-O2熱導(dǎo)式氧中氫傳感器是采用MEMS技術(shù)設(shè)計，通過直接物理方法測量氣體熱導(dǎo)率方式運行，不需要參考?xì)?。氫氣傳感器沒有采用傳統(tǒng)的大功率的恒溫氣室設(shè)計，而采用獨特溫度補償?shù)乃惴ǎ稍?40℃~+60℃下保證測量準(zhǔn)確度和重復(fù)性，且波動性很小。傳感器功耗只有0.6W，是傳統(tǒng)的熱導(dǎo)原理傳感器的1/20。TCD-HP-H2-O2氧中氫傳感器同時對被測氣體中濕度進(jìn)行修正，背景噪音在±50ppm，測量達(dá)到±1%FS測量精度。
	XEN-5320-HP-CAN氫氣傳感器	荷蘭Xensor Integration公司XEN-5320-HP-CAN是一款智能型氫氣傳感器\|氦氣傳感器，可廣泛應(yīng)用于需要分析二元氣體混合的行業(yè)。該熱導(dǎo)傳感器采用經(jīng)驗證的熱傳導(dǎo)傳感器XEN-TCG3880，基于測量周圍氣體熱傳導(dǎo)率的原理?？赡艿膽?yīng)用包括氫氣和氦氣試驗、空氣噴射和羽流中氣體擴(kuò)散率的檢測以及二元氣體成分測定。
	XEN-5320 MEMS氫氣傳感器	Xensor Integration是一家高科技公司，專注于使用計算機芯片技術(shù)制造MEMS傳感器（微機電系統(tǒng)）的定制設(shè)計、原型設(shè)計和生產(chǎn)。Xensor擁有一系列現(xiàn)成的標(biāo)準(zhǔn)傳感器。如果沒有提供您的MEMS氣體傳感器，可以根據(jù)您的規(guī)格為您開發(fā)定制氣體傳感器產(chǎn)品。XEN-5320是一種智能氣體傳感器，在需要分析二元氣體混合物的工業(yè)中有著廣泛的應(yīng)用。該傳感器基于環(huán)境氣體的熱導(dǎo)率測量，使用經(jīng)驗證的熱導(dǎo)率傳感器XEN-3880。應(yīng)用包括氣體擴(kuò)散率的檢測以及氫氣等二元氣體成分的測量。
	XEN-TCG3880熱導(dǎo)率傳感器	Xensor Integration公司XEN-TCG3880是一種薄膜熱電堆輸出熱導(dǎo)率傳感器，與傳統(tǒng)的熱電偶計和皮拉尼真空計計密切相關(guān)。它采用氮化硅封閉膜結(jié)構(gòu)設(shè)計，具有高靈敏度和分辨率。測量原理依賴于傳感器敏感區(qū)域和環(huán)境之間的有效熱阻的降低，這是由周圍氣體的熱導(dǎo)率引起的。傳感器標(biāo)準(zhǔn)安裝在TO-5集管中，但也有不同的外殼（如LCC-20和KF-16和KF-40真空法蘭中的封裝）。因此，它可以衡量：氣體分子的類型（熱導(dǎo)率測量）和氣體分子的壓力（真空測量）。薄膜熱電堆真空傳感器的穩(wěn)定性和精度可與標(biāo)準(zhǔn)皮拉尼真空計相媲美。
	XEN-3880和XEN-3920熱導(dǎo)氣體敏感元件	Xensor Integration公司擁有一系列現(xiàn)成的標(biāo)準(zhǔn)MEMS熱導(dǎo)率氣體敏感元件和氣體傳感器。經(jīng)典的XEN-3880和XEN-3920熱導(dǎo)率氣體敏感元件和XEN-5320是一種智能氣體傳感器，在需要分析二元氣體混合物的工業(yè)中有著廣泛的應(yīng)用。XEN-5320使用經(jīng)驗證的熱導(dǎo)率傳感器敏感元件XEN-3880，該氣體傳感器基于環(huán)境氣體的熱導(dǎo)率測量。XEN-3880、XEN-3920和XEN-5320應(yīng)用包括皮拉尼真空計、氣體擴(kuò)散率的檢測以及氫氣等二元氣體成分的含量測量。 Xensor Integration公司XEN-3880和XEN-3920熱導(dǎo)氣體敏感元件測量流經(jīng)其表面周圍氣體的熱導(dǎo)率。根據(jù)氣體熱導(dǎo)率不同的原理，它可用于測量二元混合物或準(zhǔn)二元混合物中的氣體濃度，其中組分氣體具有不同的熱導(dǎo)率。它也可以用于測量真空系統(tǒng)中的
	XEN-3920熱導(dǎo)率氣體傳感器敏感元件	Xensor Integration公司XEN-3920熱導(dǎo)率氣體傳感器元件測量周圍混合氣體的熱導(dǎo)率。根據(jù)氣體熱導(dǎo)率不同的原理，它可用于測量二元混合物或準(zhǔn)二元混合物中的氣體濃度，其中組分氣體具有不同的熱導(dǎo)率。它也可以用作Pirani壓力計（皮拉尼真空計）來測量真空系統(tǒng)中的壓力。熱導(dǎo)率氣體傳感器芯片由一個帶有2個氮化硅膜的硅邊緣組成。XEN-3920在每個膜的中心是一個加熱器，帶有測量其溫度的傳感器敏感元件，敏感芯片測量環(huán)境和膜中心之間的氣體熱導(dǎo)率。
	XEN-393量熱計傳感器	荷蘭Xensor Integration公司提供XEN-393是一系列微加工薄膜量熱計傳感器芯片，設(shè)計用于高溫掃描率下的小樣本測量。XEN-393系列采用鋁電極互連，這限制了它們的溫度范圍低于XEN-394系列，后者采用金電極互連。該量熱計傳感器采用單面超薄氮化硅薄膜，具有對環(huán)境熱阻高、時間常數(shù)小等特點。這使得這些傳感器特別適用于氣體介質(zhì)環(huán)境中的測量和快速測量，如快速掃描量熱法。
	XEN-39390熱量計\|量熱計敏感元件	Xensor Integration公司提供XEN-39390系列XEN-393和XEN-394熱量計\|量熱計敏感元件基于單一SiN（氮化硅）薄膜的量熱計敏感元件芯片。它們具有不同尺寸的加熱取樣區(qū)域。XEN-393和XEN-394取樣面積從8x14μm2到1x1 mm2不等。XEN-39390系列具有鋁金屬化，溫度范圍從0K到800K。取樣面積越小，上部掃描速率越快，Max.高可達(dá)10MK/s。列XEN-393和XEN-394熱量計\|量熱計敏感元件標(biāo)準(zhǔn)外殼為TO-5金屬篩網(wǎng)管帽、帶柔性連接器的陶瓷基板L或CC-20。
	XEN-3880-RW皮拉尼真空計傳感器	XEN-3880-RW皮拉尼真空計傳感器：MEMS皮拉尼真空測量技術(shù)的變革:MEMS Pirani可以在平衡惠斯通電橋中操作；然而，橋接電路中的單個元件與多個溫度系數(shù)因素有關(guān)，這些因素共同導(dǎo)致測量漂移、不穩(wěn)定性和噪聲。因此，惠斯通電橋電路不是用于實現(xiàn)高性能的實用設(shè)計，并且所使用的傳統(tǒng)電路已經(jīng)被先進(jìn)的信號和數(shù)據(jù)處理所取代。MEMS Pirani真空計技術(shù)的展示了一種新的技術(shù)，該技術(shù)將新穎的MEMS傳感器設(shè)計與操作MEMS Pirany真空傳感器的方法相結(jié)合。荷蘭XENSOR INTEGRATON開發(fā)的技術(shù)采用先進(jìn)的精密數(shù)字信號處理技術(shù)，消除了傳統(tǒng)的皮拉尼-惠斯通電橋電路。與傳統(tǒng)的Pirani真空計傳感器操作相比，溫度補償和熱損失測量轉(zhuǎn)換為校準(zhǔn)真空氣體壓力讀數(shù)的數(shù)字方法已被證明可以提高測量性能。

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