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黛爾特（北京）科技有限公司
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產(chǎn)品圖片	產(chǎn)品名稱/型號	產(chǎn)品簡單介紹
	XEN-TCG3880熱導(dǎo)率傳感器	Xensor Integration公司XEN-TCG3880是一種薄膜熱電堆輸出熱導(dǎo)率傳感器，與傳統(tǒng)的熱電偶計(jì)和皮拉尼真空計(jì)計(jì)密切相關(guān)。它采用氮化硅封閉膜結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，具有高靈敏度和分辨率。測量原理依賴于傳感器敏感區(qū)域和環(huán)境之間的有效熱阻的降低，這是由周圍氣體的熱導(dǎo)率引起的。傳感器標(biāo)準(zhǔn)安裝在TO-5集管中，但也有不同的外殼（如LCC-20和KF-16和KF-40真空法蘭中的封裝）。因此，它可以衡量：氣體分子的類型（熱導(dǎo)率測量）和氣體分子的壓力（真空測量）。薄膜熱電堆真空傳感器的穩(wěn)定性和精度可與標(biāo)準(zhǔn)皮拉尼真空計(jì)相媲美。
	XEN-3880和XEN-3920熱導(dǎo)氣體敏感元件	Xensor Integration公司擁有一系列現(xiàn)成的標(biāo)準(zhǔn)MEMS熱導(dǎo)率氣體敏感元件和氣體傳感器。經(jīng)典的XEN-3880和XEN-3920熱導(dǎo)率氣體敏感元件和XEN-5320是一種智能氣體傳感器，在需要分析二元?dú)怏w混合物的工業(yè)中有著廣泛的應(yīng)用。XEN-5320使用經(jīng)驗(yàn)證的熱導(dǎo)率傳感器敏感元件XEN-3880，該氣體傳感器基于環(huán)境氣體的熱導(dǎo)率測量。XEN-3880、XEN-3920和XEN-5320應(yīng)用包括皮拉尼真空計(jì)、氣體擴(kuò)散率的檢測以及氫氣等二元?dú)怏w成分的含量測量。 Xensor Integration公司XEN-3880和XEN-3920熱導(dǎo)氣體敏感元件測量流經(jīng)其表面周圍氣體的熱導(dǎo)率。根據(jù)氣體熱導(dǎo)率不同的原理，它可用于測量二元混合物或準(zhǔn)二元混合物中的氣體濃度，其中組分氣體具有不同的熱導(dǎo)率。它也可以用于測量真空系統(tǒng)中的
	XEN-3920熱導(dǎo)率氣體傳感器敏感元件	Xensor Integration公司XEN-3920熱導(dǎo)率氣體傳感器元件測量周圍混合氣體的熱導(dǎo)率。根據(jù)氣體熱導(dǎo)率不同的原理，它可用于測量二元混合物或準(zhǔn)二元混合物中的氣體濃度，其中組分氣體具有不同的熱導(dǎo)率。它也可以用作Pirani壓力計(jì)（皮拉尼真空計(jì)）來測量真空系統(tǒng)中的壓力。熱導(dǎo)率氣體傳感器芯片由一個(gè)帶有2個(gè)氮化硅膜的硅邊緣組成。XEN-3920在每個(gè)膜的中心是一個(gè)加熱器，帶有測量其溫度的傳感器敏感元件，敏感芯片測量環(huán)境和膜中心之間的氣體熱導(dǎo)率。

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