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產(chǎn)品資料

硅片外觀檢查設(shè)備

硅片外觀檢查設(shè)備
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  • 產(chǎn)品名稱:硅片外觀檢查設(shè)備
  • 產(chǎn)品型號:
  • 產(chǎn)品展商:AUBAT
  • 產(chǎn)品文檔:無相關(guān)文檔
簡單介紹
硅片外觀檢查設(shè)備是指在芯片制造過程中,對硅片表面的半導(dǎo)體電路圖形的形狀缺陷及其異物雜質(zhì)檢測的硅片外觀檢查設(shè)備。
產(chǎn)品描述
硅片外觀檢查設(shè)備是指在芯片制造過程中,對硅片表面的半導(dǎo)體電路圖形的形狀缺陷及其異物雜質(zhì)檢測的設(shè)備。
 
 硅片外觀檢查設(shè)備:WIN-WIN50
 

WIN-WIN50是東京精密在“共贏關(guān)系”的理念下,以其**的光學(xué)系統(tǒng),超高速的畫像處理系統(tǒng),超精密的測試臺等,融合了*先進的技術(shù)開發(fā)出來的與目前同類設(shè)備完全不同水平的世界*高性能的硅片外觀檢查設(shè)備。

WIN-WIN50是針對65納米以下水平的設(shè)計開發(fā)及量產(chǎn)所研制出來的具有下世紀(jì)水平的硅片外觀檢查設(shè)備。

WIN-WIN50通過多種波長及照明系統(tǒng)可以對應(yīng)多種工藝條件。通過抑制前程缺陷,捕捉微弱的缺陷信號等方法,發(fā)現(xiàn)影響到產(chǎn)品良率的重大缺陷。

 
特點1
 
 
 
通過配備的共焦點顯微鏡,實現(xiàn)畫面的高解像化,抑制前程缺陷。
 
特點2
 
 
 
采用UV光源及廣域波長帶的白色光源,實現(xiàn)畫面的高解像化,可以對應(yīng)多種工藝條件。
 
特點3
 
 
 
 
開發(fā)出針對UV光的高速度高感度CCD攝像機。
 
特點4
 
 
 
 
根據(jù)激光測長系統(tǒng),直線性達到10nm的超精密測試臺。
 
特點5
 
 
 
 
通過超高速畫像處理系統(tǒng)的并列處理技術(shù),實現(xiàn)了超高速的畫像處理功能。
 
特點6
 
 
 
 
主機和畫像處理系統(tǒng)的分離構(gòu)造,實現(xiàn)了潔凈廠房內(nèi)的場地優(yōu)化功能。
應(yīng)用
 
 
 
 
Resist Patern工藝
STI工藝
Gate工藝
Metal接線工藝
Memory/Logic以外的設(shè)計工藝(CCD, Quartz等)
硅片外觀檢查設(shè)備是指在芯片制造過程中,對硅片表面的半導(dǎo)體電路圖形的形狀缺陷及其異物雜質(zhì)檢測的硅片外觀檢查設(shè)備。
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