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半導體加工檢測設(shè)備
產(chǎn)品圖片
產(chǎn)品名稱/型號
產(chǎn)品簡單介紹
晶圓劃片機
晶圓劃片機能用金剛石刀片將晶圓片切割成獨立的半導體晶粒,東京精密牌激光劃片機實現(xiàn)了不用傳統(tǒng)的金剛石刀片,通過激光的能量高速將晶圓分開,這種切開方式是真正的干式切削工藝。
背面拋光機
研磨背面拋光機在減薄硅片的過程之中,可以同時祛除硅片減薄工藝后導致的硅片背面損傷層,并且此設(shè)備能夠與各種不同用途的外圍設(shè)備聯(lián)接,實現(xiàn)多功能一體化。
硅片外觀檢查設(shè)備
硅片外觀檢查設(shè)備是指在芯片制造過程中,對硅片表面的半導體電路圖形的形狀缺陷及其異物雜質(zhì)檢測的硅片外觀檢查設(shè)備。
cmp裝置
CMP是IC芯片制造中的一種硅片表面平坦化工藝。通過研磨墊和研磨劑的化學、機械共同作用,消除硅片表面的微觀凹凸,達到平坦化,cmp裝置 ic平坦裝置。
硅片剝離清洗機
硅片剝離清洗機 1*新開發(fā)的磨削單元增強主軸精度,改善表面粗糙度 2采用非接觸測量系統(tǒng),平穩(wěn)擺正硅片 3加工前進行多點非接觸厚度,加工后進行缺口深度及直徑測量 4模塊式設(shè)計優(yōu)化加工過程 5螺旋精磨系統(tǒng) (選項,**技術(shù)) 事項低損傷磨削
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