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產(chǎn)品名稱:
小型 等離子清洗機(jī)
產(chǎn)品型號:
PCE-6V
產(chǎn)品展商:
其它品牌
產(chǎn)品價格:
0.00 元
簡單介紹
小型等離子清洗機(jī)集成了RF等離子體發(fā)生技術(shù)、計算機(jī)控制技術(shù)、軟件編程技術(shù),采用氣體作為清洗介質(zhì),有效地避免了因液體清洗介質(zhì)對被清洗物帶來的二次污染。工作時外接一臺真空泵,清洗腔內(nèi)的等離子體輕柔沖刷被清洗物的表面,可短時間內(nèi)徹底清洗掉有機(jī)污染物,清洗程度可達(dá)到分子級。另外,其樣品臺可選配加熱功能,可加負(fù)偏壓,用以實現(xiàn)離子蝕刻。此外,其可在特定條件下根據(jù)需要改變某些材料表面的性能。
小型 等離子清洗機(jī)的詳細(xì)介紹
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性能指標(biāo)和基本配置
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主要特點
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● 采用氣體作為清洗介質(zhì),避免了因液體清洗介質(zhì)對被清洗物帶來的二次污染。
● 可短時間內(nèi)徹底清洗掉有機(jī)污染物。
● 清洗程度可達(dá)到分子級。
● 可在特定條件下根據(jù)需要改變某些材料表面的性能。
● 清洗過程中的輝光放電可對某些特殊用途的材料加強(qiáng)粘附性、相容性和浸潤性,并可**和**。
● 樣品臺可選配加熱功能,可加負(fù)偏壓,用以實現(xiàn)離子蝕刻。
● 廣泛應(yīng)用于光學(xué)、光電子學(xué)、電子學(xué)、材料科學(xué)、生命科學(xué)、高分子科學(xué)、生物醫(yī)學(xué)、微觀流體學(xué)等領(lǐng)域。
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參數(shù)
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● 電壓:AC220V 10A
● 消耗功率:<500W(包括真空泵)
● RF電源:輸出功率100W,輸出頻率13.56MHz
● 腔體:Φ190mm×98mm

● 石英管:Φ180mm×55mm,壁厚7mm
● 內(nèi)腔:Φ165mm×55mm
● 清洗電極:Φ120mm
● 樣品臺:Φ150mm,有效尺寸Φ140mm
● 樣品臺與電極間距:15mm-50mm
● 可調(diào)抽氣管:Φ12mm
● 極限真空度:0.1Pa
● 工作真空度:60Pa-500Pa
● 氣路數(shù)量:2路(選裝)
● 流量控制器數(shù)量:1、2
● 流量顯示儀:2通道
● 氣路接口:Φ6mm
● 加熱樣品臺:Φ140mm,加熱樣品溫度RT-600℃±1℃(選裝)
● 冷卻水壓力:0.2KPa-0.4KPa
● 工作環(huán)境:溫度5℃-35℃,濕度<80%(相對濕度)不結(jié)露,海拔高度0-2000m
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產(chǎn)品規(guī)格
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● 尺寸:245mm×235mm×460mm(不含真空泵)
● 重量:20kg(不含真空泵)
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可選配置
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● 加熱樣品臺
● 流量控制器(量程10、50、100,*多可增加2個通道)
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保修期
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一年保修,終身技術(shù)支持。
特別提示:
1.耗材部分如加熱元件,石英管,樣品坩堝等不包含在內(nèi)。
2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內(nèi)。
點擊查看售后服務(wù)承諾書。
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