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先進(jìn)材料研究
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小型PECVD管式爐系統(tǒng)
OTF-1200X-50S-PE是一款小型的PE-CVD(等離子體氣相沉積)管式爐系統(tǒng)。此套設(shè)備帶有500W的等離子射頻電源,一個(gè)爐管直徑為50mm的開(kāi)啟式管式爐(帶有真空法蘭和連接管道)和一個(gè)直聯(lián)式雙旋機(jī)械泵。因此這套設(shè)備模型可以更新為不同的PECVD系統(tǒng)。對(duì)于有限的經(jīng)費(fèi)的情況下來(lái)進(jìn)行材料探索,此套系統(tǒng)極為理想。
雙爐體滑動(dòng)PECVD系統(tǒng)
雙爐體滑動(dòng)PECVD系統(tǒng)是一款雙爐體滑動(dòng)的PECVD系統(tǒng),并且連接有循環(huán)手套箱。此款設(shè)備中石英爐管與一循環(huán)手套箱相連接,允許客戶用CVD方法把樣品制作好以后,直接把樣品移入到氣氛保護(hù)環(huán)境下的手套箱中。爐體采用滑動(dòng)式,可在室驗(yàn)中對(duì)樣品進(jìn)行快速加熱和快速冷卻。此款儀器特別適合新一代納米材料和二維晶體材料的探索研究。
1000℃小型開(kāi)啟式管式爐
1000℃小型開(kāi)啟式管式爐是一款小型開(kāi)啟式管式爐,其*高工作溫度可達(dá)到1000℃,爐管可以選用直徑為100mm或130mm的石英管,并且可配一套不銹鋼密封法蘭(上面安裝有不銹鋼截止閥和通氣接口),可在真空或氣氛保護(hù)環(huán)境下對(duì)樣品進(jìn)行熱處理。控制系統(tǒng)與爐體分開(kāi),可設(shè)置30段升降溫程序,控溫精度為+/- 1℃。
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