帶有預(yù)熱系統(tǒng)的滑動(dòng)PECVD
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產(chǎn)品名稱:
帶有預(yù)熱系統(tǒng)的滑動(dòng)PECVD
產(chǎn)品型號(hào):
OTF-1200X-50-II-4CV-PE-MSL
產(chǎn)品展商:
其它品牌
產(chǎn)品價(jià)格:
0.00 元
簡(jiǎn)單介紹
OTF-1200X-50-II-4CV-PE-MSL是一款雙溫區(qū)的PE-CVD管式爐系統(tǒng)，組成部分為500W的射頻發(fā)生器、滑動(dòng)速度可控的雙溫區(qū)滑軌爐，預(yù)熱爐（作用為使固體原料蒸發(fā)）和德國(guó)進(jìn)口的無(wú)油泵。此款PE-CVD對(duì)于生長(zhǎng)納米線或用CVD，方法來(lái)制作各種薄膜是一款新的探索工具。
帶有預(yù)熱系統(tǒng)的滑動(dòng)PECVD的詳細(xì)介紹
OTF-1200X-50-II-4CV-PE-MSL是一款雙溫區(qū)的PE-CVD管式爐系統(tǒng)，組成部分為500W的射頻發(fā)生器、滑動(dòng)速度可控的雙溫區(qū)滑軌爐，預(yù)熱爐（作用為使固體原料蒸發(fā)）和德國(guó)進(jìn)口的無(wú)油泵。此款PE-CVD對(duì)于生長(zhǎng)納米線或用CVD，方法來(lái)制作各種薄膜是一款新的探索工具。
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性能指標(biāo)和基本配置
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結(jié)構(gòu)特點(diǎn)
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● 與普通CVD相比較，其沉積溫度大大降低，減少了高溫多薄膜損壞。
● 可以通過(guò)爐體滑動(dòng)來(lái)達(dá)到快速升溫和快速降溫的效果。
● 爐體有兩個(gè)溫區(qū)，可在爐體內(nèi)形成溫度梯度，兩個(gè)溫區(qū)*大溫差為400℃。
● 管式爐*高工作溫度為1100℃。
●帶有預(yù)熱爐，*高溫度為1100℃，氣體可通過(guò)此爐預(yù)熱也可將液體蒸發(fā)氣化或固體原料升華后與氣體原料混合。
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雙溫區(qū)滑軌爐
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● 連續(xù)工作*高溫度為1100℃
● 爐膛保溫材料采用高純氧化鋁多晶纖維，并且內(nèi)爐膛表面涂有美國(guó)進(jìn)口的1750度高溫氧化鋁涂層，可以提高加熱效率，反射率及延長(zhǎng)儀器的使用壽命(點(diǎn)擊文字查看詳細(xì)資料）
● 兩個(gè)溫控系統(tǒng)獨(dú)立控制兩個(gè)溫區(qū)，都可設(shè)置30段升降溫程序
● 每個(gè)溫區(qū)長(zhǎng)度為200mm
● 總溫區(qū)長(zhǎng)度：400mm
● 兩個(gè)溫區(qū)*大溫差為：400℃
● 爐管材料：高純石英管
● 石英管尺寸：50mm OD x 44ID x 2200mm L
● 所需電源: 208 – 240V AC單相
● *大功率： 4KW
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等離子射頻發(fā)生器
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● 輸出功率: 5 -500W可調(diào)
● 穩(wěn)定性為：+/-1%
● 射頻電源頻率：13.56 MH, 穩(wěn)定性±0.005%
● *大反向功率: 200W
● 射頻電源電子輸出口: 50 Ω, N型半導(dǎo)體, 陰極
● 噪音:<50 dB.
● 冷卻方式：空氣冷卻
● 輸入電源: 208-240VAC, 50/60Hz
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預(yù)熱爐
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● 一款小型單溫區(qū)管式爐，加熱區(qū)為200mm
● *高溫度: 1100oC
● 可設(shè)置30段升降溫程序
● 氣體通過(guò)等離子射頻電源前，先通過(guò)預(yù)熱爐
● 也可將固體和液體原料放在預(yù)熱爐中，氣化后與氣體原料相混合
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防腐型數(shù)顯真空計(jì)
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● 測(cè)量范圍3.8x10-5 至 1125 Torr
● 當(dāng)氣壓在10mbar以上時(shí)，可獨(dú)立測(cè)量各種氣體，不必做校正（包括混合氣體）
● 對(duì)于氣體的壓力檢測(cè)具有較高的精-確度和重復(fù)性
● 信號(hào)響應(yīng)時(shí)間較短（≤30ms)
● 因?yàn)閭鞲衅魃襄冇蟹栏繉?，所以具有較好的抗腐蝕性
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真空泵和閥
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● 可以從本公司選購(gòu)以下幾種真空泵
● 如您想獲得更高的真空度(<10-5 torr or better) 可選國(guó)產(chǎn)或進(jìn)口高真空機(jī)組
● 配有擋板閥波紋管和卡箍等真空配件
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電動(dòng)滑軌
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可將電動(dòng)滑軌安裝在爐體下端，將爐體滑動(dòng)，以達(dá)到快速升溫和快速降溫的效果 滑動(dòng)速度：0-70 mm/s（可調(diào)）
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升溫和降溫速率
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● RS485接口和控溫軟件可安裝在爐體內(nèi)，將控溫程序和溫度曲線導(dǎo)入電腦中（儀器中不包含，客戶需額外出費(fèi)用在本公司購(gòu)買）
● 為了獲得*大的升溫速率，可將爐體升溫到設(shè)定溫度，然后將爐體滑到樣品盛放位置
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加熱速率: 冷卻速率:
● 15°C/sec (RT - 150°C); ● 15°C/sec (1000 - 950°C);
● 10°C/sec (150°C - 250°C); ● 10°C/sec (950°C - 900°C);
● 7°C/sec (250°C - 350°C); ● 7°C/sec (900°C - 850°C);
● 4°C/sec (350°C - 500°C); ● 4°C/sec (850°C - 750°C);
● 3°C/sec (350°C - 550°C); ● 2°C/sec (750°C - 600°C);
● 2°C/sec (550°C - 650°C); ● 1.5°C/sec (600°C - 500°C);
● 1°C/sec (650°C - 800°C); ● 1°C/sec (500°C - 400°C);
● 0.5°C/sec (800°C - 1000°C); ● 0.5°C/sec (400°C - 300°C);
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可選
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可以選購(gòu)2-4通道質(zhì)子流量計(jì)混氣系統(tǒng)（精度1.5%）
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外形尺寸
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● 爐體: 550 x 380 x 520 mm
● 滑軌長(zhǎng)度：1750 mm
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凈重
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220 Lbs.
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應(yīng)用注意事項(xiàng)
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●爐管內(nèi)氣壓不可高于0.02MPa
●由于氣瓶?jī)?nèi)部氣壓較高，所以向爐管內(nèi)通入氣體時(shí)，氣瓶上必須安裝減壓閥，建議在本公司選購(gòu)減壓閥，本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa,使用時(shí)會(huì)更加精-確**
●當(dāng)爐體溫度高于1000℃時(shí)，爐管內(nèi)不可處于真空狀態(tài)，爐管內(nèi)的氣壓需和大氣壓相當(dāng)，保持在常壓狀態(tài)進(jìn)入爐管的氣體流量需小于200SCCM，以避免冷的大氣流對(duì)加熱石英管的沖擊
●石英管的長(zhǎng)時(shí)間使用溫度＜1100℃
●對(duì)于樣品加熱的實(shí)驗(yàn)，不建議關(guān)閉爐管法蘭端的抽氣閥和進(jìn)氣閥使用。若需要關(guān)閉氣閥對(duì)樣品加熱，則需時(shí)刻關(guān)注壓力表的示數(shù)，若氣壓表示數(shù)大于0.02MPa，必須立刻打開泄氣閥，以防意外發(fā)生（如爐管破裂，法蘭飛出等）
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質(zhì)量認(rèn)證
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CE Certified
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保修期
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一年保修，終身技術(shù)支持。
特別提示：
1.耗材部分如加熱元件，石英管，樣品坩堝等不包含在內(nèi)。
2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內(nèi)。
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免責(zé)聲明
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