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產(chǎn)品名稱:
三溫區(qū)三通道混氣CVD系統(tǒng)
產(chǎn)品型號:
GSL-1700X-60-III-F3LV
產(chǎn)品展商:
MTI
產(chǎn)品價格:
0.00 元
簡單介紹
三溫區(qū)三通道混氣CVD系統(tǒng)是一款通過CE認證的三溫區(qū)管式爐CVD系統(tǒng)，其爐管直徑為60mm,其真空泵采用雙旋機械泵，混氣系統(tǒng)為3路浮子混氣系統(tǒng)。此高溫爐燒結(jié)溫度可達1700℃，真空度可達到5x10-2 torr ，可以混合1-3種氣體。
三溫區(qū)三通道混氣CVD系統(tǒng)的詳細介紹
三溫區(qū)三通道混氣CVD系統(tǒng)技術(shù)參數(shù)
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爐體結(jié)構(gòu)
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采用雙層殼體結(jié)構(gòu)，并帶有風冷系統(tǒng)，使得殼體表面溫度小于55℃
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爐膛材料采用高純氧化鋁纖維，*大程度減少能量損失
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內(nèi)爐膛表面涂有美國進口的高溫氧化鋁涂層可以提高設(shè)備的加熱效率，同時也可以延長儀器的使用壽命
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三個溫區(qū)分別被三個獨立的溫控系統(tǒng)控制
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功率
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9 KW(需要75A的空氣開關(guān) )
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電壓
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AC 208-240V 單相, 50/60 Hz
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加熱區(qū)
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總加熱區(qū)長度: 25" (630 mm)
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加熱溫區(qū)1長度: 7.5" (190 mm) 1400°C 通過4根硅碳棒加熱，*高溫度可達1400℃
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升溫速率: 10°C/min
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加熱溫區(qū)2長度:: 10" (250 mm)1700°C 通6根硅鉬棒加熱，*高溫度可達1700℃
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*快升溫速率: 5°C/min
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加熱溫區(qū)3長度:: 7.5" (190 mm) 1400°C 通過4根硅碳棒加熱，*高溫度可達1400℃
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*大升溫速率: 10°C/min
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爐管和法蘭尺寸
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99.8%高純剛玉管 purity Alumina Tube
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尺寸：2-3/8" ( 60mm) O.D.x 2-1/8"I.D. (54mm) x 48" (1200mm) Length
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一對60mm的不銹鋼密封法蘭，法蘭上已安裝閥門和儀表
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儀器中包括4個氧化鋁管堵
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溫控系統(tǒng)
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3個溫控系統(tǒng)，都是PID30段程序化控溫
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控溫儀表操作視頻
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控溫**度
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+/-1°C
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低真空系統(tǒng)
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采用TRP-12的雙旋機械泵，其針對于本公司的管式爐，真空度可達到 10-2 Torr.
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一個KF25的不銹鋼波紋管已安裝在真空系統(tǒng)上，其尺寸為 25mm Dia x 1000mm length ，可于管式爐上的法蘭相連接
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數(shù)字式真空顯示計
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CE認證的皮拉尼式數(shù)顯真空計，帶有LED數(shù)字式顯示，其量程為10-4 to 1000 Torr.
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可選：本公司進口的防腐型數(shù)字式真空顯示計，其測量范圍為3.8x10-5 至 1125 Torr. 不需因測量氣體種類不同而需要系數(shù)轉(zhuǎn)換。（點擊圖片查看詳細介紹）
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三路浮子混氣系統(tǒng)
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3個浮子流量計（**度4%FS）安裝在一個移動架上，可以推動，可同時混入三種不同氣體。
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**路氣體流量范圍為10-100 cc/min.
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**路氣體流量范圍為16-160 cc/min.
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第三路氣體流量范圍為25-250 cc/min.
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一個壓力表安裝在移動加上，壓力表直接于移動架內(nèi)的混氣箱相連接
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移動架上安裝有4個不銹鋼針閥
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尺寸
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高溫爐: 863 L x 457 W x 711 H mm (34 L x 18 W x 28 H inch)
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質(zhì)保期& 質(zhì)量認證
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一年質(zhì)保期. (不包括爐管加熱元件和密封圈 .)
CE certified
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