1700°C二通道混氣高真空CVD系統(tǒng)-GSL-1700X-4-HVC
     
    
    
    
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        產(chǎn)品名稱:
            1700°C二通道混氣高真空CVD系統(tǒng)-GSL-1700X-4-HVC
    
        產(chǎn)品型號(hào):
            GSL-1700X-4-HVC
    
        產(chǎn)品展商:
            MTI
    
        產(chǎn)品價(jià)格:
            0.00 元
    
    
    
    
    
        簡單介紹
    
        GSL-1700X-4-HVC是一款CE認(rèn)證的二通道高真空CVD系統(tǒng),其爐管直徑為4英寸,它是由二路質(zhì)子混氣系統(tǒng)和高真空機(jī)組組成,其*高工作溫度可達(dá)1600℃,極限真空度可達(dá) to 10^-5 torr。混氣系統(tǒng)可以對(duì)兩種氣體進(jìn)行**的混氣,然后導(dǎo)入到管式爐內(nèi)部。
    
    
        
            1700°C二通道混氣高真空CVD系統(tǒng)-GSL-1700X-4-HVC的詳細(xì)介紹
    
    
        
	技術(shù)參數(shù)
	 
	
		
			| 
				 
					GSL-1700X 系列管式爐
				 
			 | 
			
				 
					殼體
				 
			 | 
			
				
					- 
						采用雙層殼體結(jié)構(gòu),并帶有風(fēng)冷,使得殼體表面的溫度 < 55°C.
					
 
					- 
						內(nèi)爐膛表面涂有美國進(jìn)口的高溫氧化鋁涂層可以提高設(shè)備的加熱效率,同時(shí)也可以延長儀器的使用壽命
					
 
					- 
						保溫材料采用高純氧化鋁纖維,環(huán)保節(jié)能,減少熱量的損失
					
 
					- 
						真空泵和氣體混合系統(tǒng)位于移動(dòng)架上,方便移動(dòng).
					
 
					- 
						儀器上已經(jīng)安裝高真空法蘭,閥門,高真空機(jī)組
					
 
				 
			 | 
		
		
			| 
				 
					爐管
				 
			 | 
			
				
					- 
						材質(zhì): 高純氧化鋁陶瓷管
					
 
					- 
						一根高純氧化鋁陶瓷管已經(jīng)安裝在爐子上
					
 
					- 
						4.1 "OD x 3.625 " ID x 40 " L  (99.8%)
					
 
				 
			 | 
		
		
			| 
				 
					功率
				 
				
					 
				 
			 | 
			
				 
					6KW
				 
			 | 
		
		
			| 
				 
					工作電壓
				 
				
					 
				 
			 | 
			
				 
					AC 208-240V單相, 50/60Hz
				 
			 | 
		
		
			| 
				 
					加熱元件
				 
				
					 
				 
			 | 
			
				 
					8 根1800°C grade MoSi2 heating element
				 
			 | 
		
		
			| 
				 
					工作溫度
				 
			 | 
			
				
					- 
						*高工作溫度.: 1650°C
					
 
					- 
						連續(xù)工作溫度.: 1600°C
					
 
				 
			 | 
		
		
			| 
				 
					升溫速率
				 
				
					 
				 
			 | 
			
				 
					 <=5°C/min
				 
			 | 
		
		
			| 
				 
					加熱區(qū)長度
				 
			 | 
			
				
					- 
						加熱區(qū)長度: 457 mm (18")
					
 
					- 
						恒溫區(qū)長度: 150 mm (6")(+/-1°C)
					
 
				 
			 | 
		
		
			| 
				 
					溫控系統(tǒng)
				 
			 | 
			
				
					- 
						采用PID方式自動(dòng)控制,并可設(shè)置30段升降溫程序
					
 
					- 
						控溫精度: ±1°C                   
					
 
					- 
						控溫儀表操作視頻
					
 
					- 
						熱電偶: B 型,已經(jīng)安裝在爐內(nèi)
					
 
				 
			 | 
		
		
			| 
				 
					真空法蘭
				 
			 | 
			
				
					- 
						一對(duì)不銹鋼真空密封法蘭已經(jīng)安裝
					
 
					- 
						法蘭上帶有一機(jī)械壓力表
					
 
					- 
						兩個(gè)精密針閥
					
 
					- 
						一個(gè)KF-25連接器 和KF-25 轉(zhuǎn) KF-40 抽氣接口
					
 
					- 
						一個(gè)1/4"卡套接頭
					
 
				 
			 | 
		
		
			| 
				 
					外形尺寸
				 
				
					 
				 
			 | 
			
				 
					550 x 380 x 520mm
				 
			 | 
		
		
			| 
				 
					高真空機(jī)組
				 
			 | 
			
				 
					功率
				 
				
					 
				 
			 | 
			
				 
					100~110W
				 
			 | 
		
		
			| 
				 
					工作電壓
				 
				
					 
				 
			 | 
			
				 
					AC 208-240V單相, 50/60Hz
				 
			 | 
		
		
			| 
				 
					外形尺寸
				 
				
					 
				 
			 | 
			
				 
					600(L) x 600(W) x 700(H), mm
				 
			 | 
		
		
			| 
				 
					殼體
				 
			 | 
			
				
					- 
						殼體尺寸:  600 (L) x 600 (W) x 700(H), mm
					
 
					- 
						*大承載量:       600 Lbs on top
					
 
					- 
						分子泵控制面板:   LCD 數(shù)字顯示
					
 
					- 
						內(nèi)裝有一  Pfeiffer vacuum pump  made in Germany:    
					
 
				 
			 | 
		
		
			| 
				 
					控制面板
				 
			 | 
			
				
					- 
						一鍵操作:按下"start" 鍵后,隔膜泵和渦輪分子泵將會(huì)啟動(dòng)(隔膜泵先啟動(dòng)等真空度達(dá)到10-2mbar后,分子泵自動(dòng)啟動(dòng)) 
					
 
					- 
						系統(tǒng)控制旋轉(zhuǎn)速率:根據(jù)腔體內(nèi)的真空度,系統(tǒng)自動(dòng)控制旋??泵的旋轉(zhuǎn)速率
 
     
					 
				 
			 | 
		
		
			| 
				 
					抽氣速率
				 
			 | 
			
				
					- 
						N2     33 L/s
					
 
					- 
						 He     39 L/s   (2340L/minute)
					
 
					- 
						H2   32 L/s
					
 
				 
			 | 
		
		
			| 
				 
					工作范圍
				 
				
					 
				 
			 | 
			
				 
					1000 mbar to <1E-7 mbar
				 
			 | 
		
		
			| 
				 
					極限
				 
				
					 
				 
			 | 
			
				 
					<1E-8 mbar (without any leaking )
				 
			 | 
		
		
			| 
				 
					質(zhì)量流量控制器
				 
			 | 
			
				 
					殼體
				 
			 | 
			
				
					- 
						采用 316不銹鋼制作
					
 
					- 
						混氣箱尺寸: Φ80X120mm  
					
 
					- 
						外形尺寸: 600(L) x 600(W) x 700(H), mm
					
 
					- 
						MFC控制面板 (Click to enlarge),可根據(jù)客戶要求定制
 
 
 
					 
				 
			 | 
		
		
			| 
				 
					功率
				 
				
					 
				 
			 | 
			
				 
					18W
				 
			 | 
		
		
			| 
				 
					工作電壓
				 
				
					 
				 
			 | 
			
				 
					AC 208-240V, 單相, 50/60Hz
				 
			 | 
		
		
			| 
				 
					質(zhì)保期
				 
			 | 
			
				 
					 
				 
				
					一年質(zhì)保期,相關(guān)耗材除外,如爐管,密封圈,等易耗件
				 
			 | 
		
		
			| 
				 
					質(zhì)量認(rèn)證
				 
			 | 
			
				 
					  CE Certificateed
				 
			 | 
		
	
   
    
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