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l 真空法蘭：
1) 真空法蘭材質(zhì)為316不銹鋼制作
2) 頂部法蘭上有一KF25接口，可以與真空泵相連接，另外安裝有兩個1/4" 軟管接頭的出氣口
3) 底部法蘭上有一KF25接口，可以與真空泵相連接，另外安裝有兩個1/4" 軟管接頭的進(jìn)氣口
4) 法蘭是通過兩個硅膠O型圈進(jìn)行密封， 通過機(jī)械泵其腔體內(nèi)真空度可達(dá)10-2 torr，用分子泵其真空度可達(dá)到10-5 torr
5) 兩個法蘭都可以通過手動操作進(jìn)行上下移動
6) 一個數(shù)字式真空顯示計安裝在法蘭頂部，可**測量腔體內(nèi)真空度
l 混氣系統(tǒng)：可選擇兩路的混氣系統(tǒng)于此款管式爐搭配使用（本公司生產(chǎn)多路浮子和多路質(zhì)子混氣系統(tǒng)）
l 加熱元件和載樣臺：
1) 由兩組IR紅外燈管進(jìn)行加熱
2) 額定功率800 W，總功率1600W
3) 為了減小熱輻射和達(dá)到快速冷卻的效果，加熱元件被嵌在水冷機(jī)構(gòu)上
4) 一個3"的基片載樣臺安裝腔體頂部
5) 緊貼頂部加熱元件上安裝有一氮化鋁基片（3"Dia x0.5mm Thick）,使其儀器使用時樣品基片上的溫度更加均勻
6) 3"的石墨坩堝可以放在底部加熱元件上來盛裝蒸發(fā)料
7) 內(nèi)爐膛表面涂有1750℃進(jìn)口氧化鋁涂層材料提高反射率及爐膛潔凈度
l 熱電偶：兩個S型熱電偶分別安裝在上下法蘭上
l 溫控系統(tǒng)：
1) 兩個控溫系統(tǒng)都為PID30段程序化控溫
2) 可以選購PC控溫軟件，將溫度程序設(shè)置和溫度曲線導(dǎo)入電腦中
l 工作溫度：
1) 兩個加熱區(qū)域單獨(dú)工作的*高溫度：<= 650oC
2) 兩個加熱區(qū)域*大溫差：<= 350 oC
l 加熱和冷卻速率：
1) 加熱速率：>10oC/S
2) 冷卻速率：>20oC/S ( 650 - 200oC)
l 電源電壓：208 - 240VAC, 單相, （需20A的空氣開關(guān)）
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