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產(chǎn)品名稱：復(fù)合型XY定位平臺
產(chǎn)品型號：Metrostagev
產(chǎn)品展商：Felles
產(chǎn)品文檔：無相關(guān)文檔

簡單介紹

這款復(fù)合型XY定位平臺METROSTAGE是美國Nutec公司制造的高精度電動XY定位臺，采用了XY雙軸組合型設(shè)計，可以設(shè)計成實心頂部，也可設(shè)計成開放的框架結(jié)構(gòu)，同時滿足超凈工作間和真空環(huán)境的使用要求。

產(chǎn)品描述

這款復(fù)合型XY定位平臺METROSTAGE是美國Nutec公司制造的高精度電動XY定位臺，采用了XY雙軸組合型設(shè)計，可以設(shè)計成實心頂部，也可設(shè)計成開放的框架結(jié)構(gòu)，同時滿足超凈工作間和真空環(huán)境的使用要求。
XY定位平臺METROSTAGE主要特色
超薄設(shè)計,3層結(jié)構(gòu)；
直線伺服或滾軸絲桿驅(qū)動系統(tǒng)
集成的非接觸式位置編碼器
分辨率高達(dá)1納米
內(nèi)部預(yù)加載的輥導(dǎo)向系統(tǒng)
可集成伺服控制功能

這款XY定位平臺METROSTAGE采用特殊的3層結(jié)構(gòu)設(shè)計，保證了*小的形變和*高的精度，剛度和穩(wěn)定性也得到了*大化，從而保證了XY定位平臺的*佳支撐和完整性. 無空回（backlash-free)的預(yù)裝引導(dǎo)系統(tǒng)保證了電動XY定位臺實現(xiàn)平穩(wěn),低摩擦,高精度地定位,無故障長期使用。

XY定位平臺應(yīng)用
這款電動XY定位平臺具有廣泛的應(yīng)用，比如，可用于計量和制造領(lǐng)域，半導(dǎo)體封裝,測試和制造領(lǐng)域，視頻檢測，微細(xì)加工，激光加工，高速加工，激光和檢測等領(lǐng)域。也有許多用戶把這套XY定位平臺用于顯微鏡上，替代精度不足的傳統(tǒng)顯微鏡載物臺。

XY定位平臺配置
行程范圍100x100mm到300x300mm
位移臺高度*低可達(dá)60mm
開放框架或固體頂部
適合超凈間使用
真空兼容，適合真空環(huán)境使用
非磁性

XY定位平臺主要參數(shù)：
行程范圍：100x100mm, 150x150mm, 200x200mm, 300x300mm
驅(qū)動系統(tǒng)；步進(jìn)電機(jī),伺服電機(jī)，直線伺服電機(jī)，陶瓷伺服電機(jī)
*大加速度：由負(fù)載決定
*大速度：直線電機(jī)驅(qū)動：500mm/s,滾珠螺桿：250mm/s，滾柱絲杠驅(qū)動:40mm/s
*大負(fù)載：15kg
TTL分辨率：50nm
重復(fù)精度：≤1μm
構(gòu)造：鋁合金主體，灰色硬質(zhì)涂層

	MS-100 ST	MS150-ST	MS200-ST	MS300-ST	MS-OFT
Travel Length (mm)	100x 100	150x 150	200x200	300x300	100x150
Trajectory Control
Accuracy
Standard Precision SP	± 7.5μm	± 10μm	± 15μm	± 20μm	± 15μ/m
High Precision HP	± 5μm	± 7.5μm	± 10μm	± 10μm	n/a
Extra High Precision XHP	± 3μm	± 4μm	± 6μm	± 6μm	n/a
Straightness/Flatness
Standard SP	± 8 μm	± 10 μm	± 12 μm	± 20 μm	± 20 μm
High Precision HP	± 3μm	± 4 μm	± 6 μm	± 10 μm	n/a
Extra High Precision XHP	± 3μm	± 4 μm	± 5 μm	± 7 μm	n/a
Yaw/Pitch/Roll
Standard SP	20 arc-sec	20 arc-sec	20 arc-sec	20 arc-sec	30 arc-sec
High Precision HP	10 arc-sec	10 arc-sec	10 arc-sec	10u arc-sec	n/a
2 axis system all
Orthogonality

XY定位平臺臺由中國**的進(jìn)口光學(xué)精密儀器旗艦型服務(wù)商-孚光精儀進(jìn)口銷售,精通光學(xué),服務(wù)科學(xué),先后為北京大學(xué),中科院上海光機(jī)所,中國工程物理研究院,航天3院,哈工大,南開,山東大學(xué)等單位提供上等進(jìn)口電動XY位移臺,電動二維位移臺,XY二維位移臺。

Tel: ；Email:info@felles.cn
產(chǎn)品官方網(wǎng)址：

http://www.felles.cn/dingweitai/xydingweitai.html

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