xyzθ定位平臺采用美國Aerotech公司高精度定位臺構(gòu)造，實現(xiàn)在XYZ-Theta四維**定位，也是全球**的xyzθ定位臺和xyzθ位移臺。
xyzθ定位平臺采用XY位移臺實現(xiàn)XY定位，采用升降臺實現(xiàn)Z軸定位，采用旋轉(zhuǎn)定位臺進行Theta定位，采用全數(shù)字伺服控制器，從而實現(xiàn)100mm x 100mm x 16mm x 360degree 的xyzθ定位，分辨率高達1nm 和0.36arcsec。