高精度定位臺(tái)Q-max是美國(guó)Nutec公司制造的高分辨率超級(jí)耐用定位工作臺(tái)，它在水平或垂直方向均可提供短行程高精度定位并保持高精度軌跡控制。
高精度定位臺(tái)Q-max特點(diǎn) 精密定位臺(tái)具有25mm, 50mm 和100mm行程范圍 集成高精度線性編碼器，分辨率高達(dá)12.5nm Quad-Vee Lock needle傳導(dǎo)系統(tǒng)提供恒定支持 滾珠絲杠或滾柱絲杠傳導(dǎo)，滯帶*小 重復(fù)精度高達(dá)亞納米，特別適合Z軸或垂直應(yīng)用 高精度定位臺(tái)Q-max應(yīng)用 高精度定位臺(tái)Q-max非常適合精準(zhǔn)軌跡控制的應(yīng)用，比如半導(dǎo)體光學(xué)測(cè)量，平板顯示測(cè)量，微電子測(cè)量設(shè)備，也作為OEM定位器件集成到這些大系統(tǒng)中，在全球范圍內(nèi)作為OEM器件存在40萬(wàn)套的銷量。國(guó)際上，客戶用高精度定位臺(tái)Q-max在微電子晶圓制造中對(duì)液體精密加注，在激光和光學(xué)領(lǐng)域，科學(xué)家使用它精密控制光路等。 Q-Max Specifications