技術(shù)參數(shù)
技術(shù)指標(biāo)
分辨率：0.2nm (晶格像)
加速電壓：40kV ~ 120kV
放大倍率：
連續(xù)放大模式：x200~x600,000
低倍模式：x50 ~ x1,000
圖像旋轉(zhuǎn)：
倍率范圍：x1,000 ~ x40,000
旋轉(zhuǎn)角度：±90º (15º每步)
數(shù)字相機(jī)：1,024 x 1,024象素
樣品臺：測插式優(yōu)中心測角臺
樣品臺移動：X/Y：±1mm Z：±0.3mm
傾斜角度：±20º(±60º可選)
功能：圖像導(dǎo)航功能和樣品位置記憶功能
主要特點
主要特點
1.使用日立獨(dú)有的雙狹縫物鏡，可以得到獨(dú)有的低倍大視野、高對比度成像的特點
2.標(biāo)配有高靈敏度CCD相機(jī)，具有低劑量電子束成像的功能。CCD相機(jī)的靈敏度約比通常的光學(xué)相機(jī)高40倍。
3.CCD相機(jī)與顯微鏡是一個完整的整體，這樣可以有友好的操作環(huán)境。
4.具有更多的自動化功能，如自動聚焦、自動消像散、自動拍照等
5.標(biāo)準(zhǔn)就具有圖像數(shù)據(jù)庫功能，測長、圖像過濾功能等
6.具有較強(qiáng)的擴(kuò)展功能，如三維重構(gòu)等。
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