技術(shù)參數(shù)

技術(shù)指標(biāo)
二次電子分辨率 1.0nm (15 kV);2.0 nm (1 kV)
背散射電子分辨率 3.0nm (15kV)
電子光學(xué)：
電子槍 冷場(chǎng)發(fā)射電子源
加速電壓 0.5~30kV(0.1KV/步，可變)
放大倍率 x 20~ x 800,000
物鏡光闌 4孔，真空外選擇和調(diào)校(內(nèi)置加熱器)
檢測(cè)器 二次電子檢測(cè)器 (高位/低位)
背散射電子檢測(cè)器(可選)
EDX(可選)
透射電子檢測(cè)器(可選)
法拉第杯(可選)
陰極熒光檢測(cè)器(可選)
樣品臺(tái) l型:
X: 0~50mm Y: 0~50mm
Z:1.5~30mm T: -5~+70°R:360°
驅(qū)動(dòng):手動(dòng)(可選3軸驅(qū)動(dòng))
ll型:
X: 0 ~110 mm Y: 0 ~110mm
Z: 1.5 ~40 mm T: -5 ~+70°
R: 360°驅(qū)動(dòng):PC機(jī)控制5軸驅(qū)動(dòng)
圖像顯示
操作/顯示 PC/AT 兼容,
操作系統(tǒng)： WindowsTM 2000
18.1" 平面顯示器
掃描模式 標(biāo)準(zhǔn)，Split/dual mag./line scan, position
set, spot, AAF, SAA, oblique
畫面儲(chǔ)存 640 x 480, 1,280 x 960,
2,560 x 1,920,5,120 x 3,840
圖像編輯 內(nèi)置圖像處理軟件和圖像編輯軟件
圖像文件格式 BMP, TIFF, JPEG
掃描速度 TV, 慢速 (0.5 ~ 40 s/幀) 用于觀察
慢速 (40 ~ 320 s/幀) 用于記錄
成像過(guò)程 自動(dòng)調(diào)節(jié)亮度和對(duì)比度
光柵旋轉(zhuǎn)，自動(dòng)聚焦，自動(dòng)像散校正，
平均，幀積分，偽彩色顯示
自動(dòng)數(shù)據(jù)記錄 膠卷號(hào)，加速電壓，微米標(biāo)尺，放大
倍率，日期，時(shí)間，工作距離
電子圖像移動(dòng) ±12µ ( W.D. = 8 mm)
真空系統(tǒng) 完全氣閥自動(dòng)調(diào)節(jié)
離子泵 3 臺(tái)
TMP 1 臺(tái)
RP 1 臺(tái)