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日本OTSUKA大塚電子顯微涂層測(cè)厚儀OPTM-A3
OPTM 是一種通過使用顯微光譜測(cè)量微小區(qū)域的**反射率來實(shí)現(xiàn)高精度薄膜厚度和光學(xué)常數(shù)分析的設(shè)備。
它可以以非破壞性和非接觸的方式測(cè)量各種薄膜、晶圓和光學(xué)材料等鍍膜以及多層薄膜的厚度。 測(cè)量時(shí)間為 1 秒/點(diǎn)，屬于高速測(cè)量。 此外，它還配備了軟件，即使是初次使用的用戶也可以輕松分析光學(xué)常數(shù)。

規(guī)格
類型 OPTM-A1 型 OPTM-A2 系列 OPTM-A3 系列
波長(zhǎng)范圍 230~800 納米 360~1100 納米 900~1600 納米
厚度范圍*1 1 納米~35 微米 7 納米~49 微米 16 納米~92 微米
樣本量*2 *大 200×200×17 毫米
光斑直徑 φ5、φ10、φ20、φ40 微米

* 上述規(guī)格具有自動(dòng) XY 載物臺(tái)。

*1 薄膜厚度范圍為 SiO2它將被轉(zhuǎn)換。

*2 300 mm 載物臺(tái)請(qǐng)單獨(dú)聯(lián)系我們。


 

類型 自動(dòng) XY 載物臺(tái)型 固定框架類型 內(nèi)置頭型
尺寸（
寬×深×高） 		556×566×618 毫米 368×468×491 毫米 210×441×474 毫米
90×250×190 毫米*
重量 66 千克 38 千克 23 公斤
4 公斤*
*大功耗 AC100V±10V 500VA AC100V±10V 400VA

*AC/DC 電源單元

 

配置圖

OPTMの構(gòu)成図（自動(dòng)XYステージタイプ）