多級(jí)羅茨型干泵
ULVAC
※1 極限壓力是氣鎮(zhèn)閥內(nèi)沒有氣體時(shí)的值。 ※2 請(qǐng)從上表中選擇使用電源的相位和電壓,訂購時(shí)注明。 ※3 氣鎮(zhèn)用閥門為選裝件。 ※4 使用氣鎮(zhèn)時(shí)候的*大水蒸氣處理量。水蒸氣排氣時(shí)請(qǐng)務(wù)必使用 氣鎮(zhèn)機(jī)構(gòu)。
*1 由于是濾芯型消音器,因此需要更換維護(hù)。 *2 不能連接到管路上。(開放型)