MS系列是螺桿型干式真空泵
螺桿型干泵
ULVAC
MS系列是螺桿型干式真空泵。在傳統(tǒng)的LS系列的基礎(chǔ)上,提高了耐腐蝕性和粉末排出性能。該型號(hào)專為使用腐蝕性氣體和有粉末排出的工藝設(shè)計(jì)。
*1:到達(dá)壓力時(shí) *2:At ultimate pressure (reference only) *3:Purge gas使用時(shí)的*大水蒸氣處理量 *4:Including a silencer