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產(chǎn)品資料

日本ULVAC愛發(fā)科螺桿型干式真空泵

日本ULVAC愛發(fā)科螺桿型干式真空泵
  • 如果您對(duì)該產(chǎn)品感興趣的話,可以
  • 產(chǎn)品名稱:日本ULVAC愛發(fā)科螺桿型干式真空泵
  • 產(chǎn)品型號(hào):MS1200A
  • 產(chǎn)品展商:日本ULVAC愛發(fā)科
  • 產(chǎn)品文檔:無相關(guān)文檔
簡單介紹
日本ULVAC愛發(fā)科MS系列是螺桿型干式真空泵
產(chǎn)品描述

MS系列是螺桿型干式真空泵



螺桿型干泵

MS

ULVAC

MS系列是螺桿型干式真空泵。在傳統(tǒng)的LS系列的基礎(chǔ)上,提高了耐腐蝕性和粉末排出性能。該型號(hào)專為使用腐蝕性氣體和有粉末排出的工藝設(shè)計(jì)。

特點(diǎn)

  • 通過對(duì)轉(zhuǎn)子軸和氣缸等主要部件進(jìn)行特殊涂層處理,以防腐蝕。
  • 采用ULVAC獨(dú)特設(shè)計(jì)的轉(zhuǎn)子軸,實(shí)現(xiàn)高性能的排粉。
  • 從大氣壓到極限壓力,可以在全壓力區(qū)域連續(xù)運(yùn)行。

用途

  • 半導(dǎo)體和電子器件制造設(shè)備相關(guān)的真空排氣系統(tǒng),如刻蝕設(shè)備、去膠設(shè)備、等離子清洗設(shè)備等。
  • 真空熱處理爐真空排氣系統(tǒng),如燒結(jié)爐、滲碳爐等。
  • 鋰電池制造設(shè)備真空排氣系統(tǒng),如電極干燥設(shè)備、脫泡設(shè)備、注液設(shè)備等。
  • 醫(yī)療食品設(shè)備相關(guān)的真空排氣系統(tǒng),如冷凍干燥設(shè)備、真空干燥設(shè)備等。

規(guī)格

型式 MS120A MS600A MS1200A
*大排氣速度 *1 m3/h 115 560 980
到達(dá)壓力 Pa ≦0.6 ≦0.1
電源電壓 200V Class:3Phase, 50/60Hz, AC200-240V±10% or 400V Class:3Phase, 50/60Hz, AC380-480V±10%
消費(fèi)電力概略值 *2 kW 2.4 3.1 3.1
冷卻水量 L/min >4.0
Purge gas量 *1 SLM 0~50
*大水蒸氣處理量 *1*3 kg/h 1.5
噪音值 *1 dB(A) 61 62 64
吸氣口 KF50(Horizontal) / VG50(Vertical) ISO-F-80 ISO-F-100
排氣口 KF40
質(zhì)量 *4 kg 139 241 264
適用規(guī)格 CE、cTUVus
標(biāo)準(zhǔn)附屬品 Quick manual, Power connector, Waterproof cable clamp, Remote connector, Guard for power connector, Silencer
本體選配件 Power supply:200V Class or 400V Class
Material of seal:FKM or FFKM
外部選配件 Packege Exhaust port, Earthquake-proof Bracket, LR compatible Unit(Inlet, Remote), Purge gas valve

*1:到達(dá)壓力時(shí)
*2:At ultimate pressure (reference only)
*3:Purge gas使用時(shí)的*大水蒸氣處理量
*4:Including a silencer

排氣速度曲線

  • MS120A
    ms120a_curve.png
  • MA600A
    ms600a_curve.png
  • MS1200A
    ms1200a_curve.png


尺寸圖

ms_size_e2.png
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