多級羅茨型干泵
ULVAC
※1 極限壓力是氣鎮(zhèn)閥內(nèi)沒有氣體時的值。 ※2 請從上表中選擇使用電源的相位和電壓,訂購時注明。 ※3 氣鎮(zhèn)用閥門為選裝件。 ※4 使用氣鎮(zhèn)時候的*大水蒸氣處理量。水蒸氣排氣時請務(wù)必使用 氣鎮(zhèn)機(jī)構(gòu)。
*1 由于是濾芯型消音器,因此需要更換維護(hù)。 *2 不能連接到管路上。(開放型)