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產(chǎn)品資料

日本ULVAC愛發(fā)科LR系列羅茨型干泵

日本ULVAC愛發(fā)科LR系列羅茨型干泵
  • 如果您對該產(chǎn)品感興趣的話，可以
  • 產(chǎn)品名稱：日本ULVAC愛發(fā)科LR系列羅茨型干泵
  • 產(chǎn)品型號：LR3601
  • 產(chǎn)品展商：日本ULVAC愛發(fā)科
  • 產(chǎn)品文檔：無相關(guān)文檔
簡單介紹
成都藤田科技供應(yīng)：日本ULVAC愛發(fā)科LR系列羅茨型干泵
產(chǎn)品描述

多級羅茨型干泵

LR

ULVAC

通過低溫區(qū)域的泵體均熱化，在PVD工藝之外，尤其適于那些為了提高產(chǎn)能而需要縮短排氣時間的重要的備料下料室排氣的一款泵。

特點

  • 低溫區(qū)域均熱化（LR系列）
    在PVD工藝之外，尤其適于那些為了提高產(chǎn)能而需要縮短排氣時間的重要的備料下料室排氣的一款泵。
  • 氦氣密封
    通過搭載屏蔽電動機形成密閉結(jié)構(gòu)，非常安  全。
  • 瞬停對策
    采取了1000msec以內(nèi)瞬停對策。
  • 出色的耐腐蝕性
    主要零部件均采用表面硬度高、高耐腐蝕性的特殊表面處理。降低腐蝕性氣體排氣時對泵內(nèi)部的腐蝕。
  • 通信功能
    可讀取與泵運轉(zhuǎn)狀態(tài)相關(guān)的數(shù)據(jù)、警告/報警履歷。如果使用專用軟件進行計算機通信，則可實現(xiàn)集中監(jiān)控。

用途

  • 成膜裝置（濺射裝置/蒸鍍裝置等）
  • 縮短備料下料室的排氣時間
  • 作為輔助排氣泵（渦輪分子泵、機械增壓泵的輔助排氣）

規(guī)格

型號 LR60 LR90 LR180 LR421 LR421-T
*大
排氣速度 		50Hz 62 m3/h
(1030 L/min) 		112 m3/h
(1860 L/min) 		183 m3/h
(3100 L/min) 		440 m3/h
(7333 L/min) 		440 m3/h
(7333 L/min)
60Hz 80 m3/h
(1333 L/min) 		126 m3/h
(2100 L/min) 		237 m3/h
(3950 L/min)
到達壓力 5.0 Pa
*大排氣壓力 （吸入圧力） 大氣壓
*大排氣口壓力
（排出圧力） 		1~ 大氣壓 Pa
吸氣口 (CE規(guī)格) VG50(KF50) VG80(KF50) VG100
排氣口 KF40 VG50
質(zhì)量 180 kg 245 kg 335 kg 415 kg
電源 *1 三相 200 VAC(50/60 Hz), 220 VAC(60 Hz) 180~240 VAC/
380~440 VAC(50/60 Hz)
電流值 穩(wěn)定時 6.9 A
(at 200V) 		11.2 A
(at 200V) 		18.9 A
(at 200V) 		20.8 A
(at 200V)
*大值 7.3 A
(at 200V) 		11.8 A
(at 200V) 		20.6 A
(at 200V) 		48.5 A
(at 200V)
冷卻水一次壓力 0.1~0.3 MPa 0.2~0.5 MPa
冷卻水出入口壓差 >0.1 MPa >0.2 MPa
冷卻水流量 >5.0 L/min >4.0 L/min
吹掃氣 一次壓力 0.1~0.5 MPa
二次壓力 0.05~0.1 MPa
氮氣吹掃 軸 5 SLM
氣鎮(zhèn) 0~45 SLM 沒有 0~45 SLM

*1 請訂購時指定。

型號 LR300 LR600 LR1200 LR1800 LR3601 LR3601-T
(TT) 		LR3601-R LR3601-TR
(TTR)
使用泵 干式
真空泵 		LR60 LR90 LR90 LR180 LR421 LR421-T LR421 LR421-T
機械
增壓泵 		PRC-03A PRC-06A PRC-012A PRC-018A PRC-036C PRC-036C
(-T) 		PRC-036D PRC-036D
(D-T)
*大
排氣
速度 		50Hz 359 m3/h
(5,980
L/min) 		653 m3/h
(10,900
L/min) 		1,012 m3/h
(16,900
L/min) 		1,701 m3/h
(28,350
L/min) 		3,200 m3/h(53,333 L/min)
60Hz 365 m3/h
(6,080
L/min) 		701 m3/h
(11,700
L/min) 		1,051 m3/h
(17,500
L/min) 		1,784 m3/h
(29,700
L/min)
到達壓力 0.67 Pa
*大排氣壓力
（吸入圧力） 		大氣壓
*大排氣口壓力
（排出圧力） 		1~ 大氣壓 Pa
吸氣口 (CE規(guī)格) VG80
(KF80) 		VG100
(KF100) 		VG150
(KF100) 		VG150
排氣口 KF40 KF50
MBP表面處理 〇 *1 〇 *1 〇 *1 〇 *1 × T:×
TT:× 		× TR:×
TTR:〇
質(zhì)量 275 kg 370 kg 420 kg 545 kg 660 kg 720 kg 660 kg 720 kg
電源
*2 		三相 200 VAC(50/60 Hz), 220 VAC(60 Hz) 180~240 VAC/380~440 VAC(50/60 Hz)
電流值 穩(wěn)定時 7.0 A
(at 200V) 		12.3 A
(at 200V) 		13.7 A
(at 200V) 		21.4 A
(at 200V) 		31.0 A(at 200V)
20.5 A(at 400V) 		35.4 A(at 200V)
20.5 A(at 400V)
*大值 9.6 A
(at 200V) 		19.0 A
(at 200V) 		24.2 A
(at 200V) 		39.8 A
(at 200V) 		58.4 A(at 200V)
40.5 A(at 400V) 		82.0 A(at 200V)
40.5 A(at 400V)
冷卻水
一次壓力 		0.1~0.3 MPa 0.2~0.5 MPa
冷卻水
出入口壓差 		>0.1 MPa 0.1~0.3 MPa 0.2~0.5 MPa
冷卻水流量 >5.0 L/min >4.0 L/min
吹掃氣 一次
壓力 		0.1~0.5 MPa
二次
壓力 		0.05~0.1 MPa
N2
吹掃 		軸 5 SLM
氣鎮(zhèn) 0~45 SLM 沒有 *3 0~45 SLM 沒有 *3 0~45 SLM

*1 LR300、LR600、LR1200、LR1800可選是否進行MBP表面處理。
*2 請訂購時指定。
*3 根據(jù)用途，使用氣鎮(zhèn)的規(guī)格也可報價。

配飾

■消音器 (選項)

型號 材質(zhì) 表面處理 重量
(kg) 		法蘭
接口 		LR
300 		LR
600 		LR
1200 		LR
1800 		L&
3601 		LR
60 		LR
90 		LR
180 		LR
421 		LR
421-T
RS-01 +
kitA 		SUS
304 		GBB處理 4.1
kg 		KF40 〇 - - - - 〇 〇 - - -
RS-01 +
kitB 		KF40 - 〇 〇 - - - - - - -
RS-02 +
kitA 		8.3
kg 		KF40 〇 - - - - - - 〇 - -
RS-02 +
kitB 		KF40 - 〇 〇 〇 - - - - - -
RS-03 +
kitA 		磨板 12.5
kg 		KF50 - - - - - - - - 〇 〇
RS-03 +
kitB 		- - - - 〇 - - - - -
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