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產(chǎn)品名稱：日本ULVAC愛(ài)發(fā)科LR系列羅茨型干泵
產(chǎn)品型號(hào)：LR1800
產(chǎn)品展商：日本ULVAC愛(ài)發(fā)科
產(chǎn)品文檔：無(wú)相關(guān)文檔

簡(jiǎn)單介紹

成都藤田科技供應(yīng)：日本ULVAC愛(ài)發(fā)科LR系列羅茨型干泵

產(chǎn)品描述

多級(jí)羅茨型干泵

LR

ULVAC

通過(guò)低溫區(qū)域的泵體均熱化，在PVD工藝之外，尤其適于那些為了提高產(chǎn)能而需要縮短排氣時(shí)間的重要的備料下料室排氣的一款泵。

特點(diǎn)

低溫區(qū)域均熱化（LR系列）
在PVD工藝之外，尤其適于那些為了提高產(chǎn)能而需要縮短排氣時(shí)間的重要的備料下料室排氣的一款泵。
氦氣密封
通過(guò)搭載屏蔽電動(dòng)機(jī)形成密閉結(jié)構(gòu)，非常安全。
瞬停對(duì)策
采取了1000msec以內(nèi)瞬停對(duì)策。
出色的耐腐蝕性
主要零部件均采用表面硬度高、高耐腐蝕性的特殊表面處理。降低腐蝕性氣體排氣時(shí)對(duì)泵內(nèi)部的腐蝕。
通信功能
可讀取與泵運(yùn)轉(zhuǎn)狀態(tài)相關(guān)的數(shù)據(jù)、警告/報(bào)警履歷。如果使用專用軟件進(jìn)行計(jì)算機(jī)通信，則可實(shí)現(xiàn)集中監(jiān)控。

用途

成膜裝置（濺射裝置/蒸鍍裝置等）
縮短備料下料室的排氣時(shí)間
作為輔助排氣泵（渦輪分子泵、機(jī)械增壓泵的輔助排氣）

規(guī)格

型號(hào)		LR60	LR90	LR180	LR421	LR421-T
*大排氣速度	50Hz	62 m3/h (1030 L/min)	112 m3/h (1860 L/min)	183 m3/h (3100 L/min)	440 m3/h (7333 L/min)	440 m3/h (7333 L/min)
	60Hz	80 m3/h (1333 L/min)	126 m3/h (2100 L/min)	237 m3/h (3950 L/min)
到達(dá)壓力		5.0 Pa
*大排氣壓力（吸入圧力）		大氣壓
*大排氣口壓力（排出圧力）		1~ 大氣壓 Pa
吸氣口 (CE規(guī)格)		VG50(KF50)	VG80(KF50)		VG100
排氣口		KF40			VG50
質(zhì)量		180 kg	245 kg	335 kg	415 kg
電源 *1	三相	200 VAC(50/60 Hz), 220 VAC(60 Hz)			180~240 VAC/ 380~440 VAC(50/60 Hz)
電流值	穩(wěn)定時(shí)	6.9 A (at 200V)	11.2 A (at 200V)	18.9 A (at 200V)	20.8 A (at 200V)
	*大值	7.3 A (at 200V)	11.8 A (at 200V)	20.6 A (at 200V)	48.5 A (at 200V)
冷卻水一次壓力		0.1~0.3 MPa			0.2~0.5 MPa
冷卻水出入口壓差		>0.1 MPa			>0.2 MPa
冷卻水流量		>5.0 L/min			>4.0 L/min
吹掃氣	一次壓力	0.1~0.5 MPa
	二次壓力	0.05~0.1 MPa
氮?dú)獯祾?	軸	5 SLM
	氣鎮(zhèn)	0~45 SLM			沒(méi)有	0~45 SLM

*1 請(qǐng)訂購(gòu)時(shí)指定。

型號(hào)		LR300	LR600	LR1200	LR1800	LR3601	LR3601-T (TT)	LR3601-R	LR3601-TR (TTR)
使用泵	干式真空泵	LR60	LR90	LR90	LR180	LR421	LR421-T	LR421	LR421-T
	機(jī)械增壓泵	PRC-03A	PRC-06A	PRC-012A	PRC-018A	PRC-036C	PRC-036C (-T)	PRC-036D	PRC-036D (D-T)
*大排氣速度	50Hz	359 m3/h (5,980 L/min)	653 m3/h (10,900 L/min)	1,012 m3/h (16,900 L/min)	1,701 m3/h (28,350 L/min)	3,200 m3/h(53,333 L/min)
	60Hz	365 m3/h (6,080 L/min)	701 m3/h (11,700 L/min)	1,051 m3/h (17,500 L/min)	1,784 m3/h (29,700 L/min)
到達(dá)壓力		0.67 Pa
*大排氣壓力（吸入圧力）		大氣壓
*大排氣口壓力（排出圧力）		1~ 大氣壓 Pa
吸氣口 (CE規(guī)格)		VG80 (KF80)		VG100 (KF100)	VG150 (KF100)	VG150
排氣口		KF40				KF50
MBP表面處理		〇 *1	〇 *1	〇 *1	〇 *1	×	T:× TT:×	×	TR:× TTR:〇
質(zhì)量		275 kg	370 kg	420 kg	545 kg	660 kg	720 kg	660 kg	720 kg
電源 *2	三相	200 VAC(50/60 Hz), 220 VAC(60 Hz)				180~240 VAC/380~440 VAC(50/60 Hz)
電流值	穩(wěn)定時(shí)	7.0 A (at 200V)	12.3 A (at 200V)	13.7 A (at 200V)	21.4 A (at 200V)	31.0 A(at 200V) 20.5 A(at 400V)		35.4 A(at 200V) 20.5 A(at 400V)
	*大值	9.6 A (at 200V)	19.0 A (at 200V)	24.2 A (at 200V)	39.8 A (at 200V)	58.4 A(at 200V) 40.5 A(at 400V)		82.0 A(at 200V) 40.5 A(at 400V)
冷卻水一次壓力		0.1~0.3 MPa				0.2~0.5 MPa
冷卻水出入口壓差		>0.1 MPa		0.1~0.3 MPa		0.2~0.5 MPa
冷卻水流量		>5.0 L/min				>4.0 L/min
吹掃氣	一次壓力	0.1~0.5 MPa
	二次壓力	0.05~0.1 MPa
N2 吹掃	軸	5 SLM
	氣鎮(zhèn)	0~45 SLM				沒(méi)有 *3	0~45 SLM	沒(méi)有 *3	0~45 SLM

*1 LR300、LR600、LR1200、LR1800可選是否進(jìn)行MBP表面處理。
*2 請(qǐng)訂購(gòu)時(shí)指定。
*3 根據(jù)用途，使用氣鎮(zhèn)的規(guī)格也可報(bào)價(jià)。

配飾

■消音器 (選項(xiàng))

型號(hào)

材質(zhì)

表面處理

重量
(kg)

法蘭
接口

LR
300

LR
600

LR
1200

LR
1800

L&
3601

LR
60

LR
90

LR
180

LR
421

LR
421-T

RS-01 +
kitA

SUS
304

GBB處理

4.1
kg

KF40

〇

RS-01 +
kitB

KF40

〇

RS-02 +
kitA

8.3
kg

KF40

〇

RS-02 +
kitB

KF40

〇

RS-03 +
kitA

磨板

12.5
kg

KF50

〇

RS-03 +
kitB

〇

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日本ULVAC愛(ài)發(fā)科LR系列羅茨型干泵

LR

特點(diǎn)

用途

規(guī)格

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