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產(chǎn)品名稱：日本ULVAC愛發(fā)科HR系列羅茨型干泵
產(chǎn)品型號：HR300
產(chǎn)品展商：日本ULVAC愛發(fā)科
產(chǎn)品文檔：無相關文檔

簡單介紹

成都藤田科技供應：日本ULVAC愛發(fā)科HR系列多級羅茨型干泵

產(chǎn)品描述

多級羅茨型干泵

HR

ULVAC

通過高溫領域的泵體均熱化，實現(xiàn)將CVD、蝕刻等工藝中產(chǎn)生的升化性排氣物質以氣體狀態(tài)排出的一款泵。

特點

高溫區(qū)域均熱化
實現(xiàn)將CVD、蝕刻等工藝中產(chǎn)生的升化性排氣物質以氣體狀態(tài)排出。
UR系列可比HR系列更加高溫化。
氦氣密封
通過搭載屏蔽電動機形成密閉結構，非常**。
瞬停對策
采取了1000msec以內瞬停對策。
出色的耐腐蝕性
主要零部件均采用表面硬度高、高耐腐蝕性的特殊表面處理。降低腐蝕性氣體排氣時對泵內部的腐蝕。
通信功能
可讀取與泵運轉狀態(tài)相關的數(shù)據(jù)、警告/報警履歷。如果使用專用軟件進行計算機通信，則可實現(xiàn)集中監(jiān)控。

用途

CVD裝置
蝕刻裝置
灰化裝置
ALD、ALH 等

規(guī)格

型號

HR60

HR90

HR300

HR600

HR1200

使用泵

干式真空泵

HR60

HR90

HR60

HR90

機械增壓泵

PRC-003A

PRC-006A

PRC-012A

*大
排氣速度

50Hz

m3/h
(L/min)

62(1030)

112(1860)

359(5,980)

653(10,900)

1,012(16,900)

60Hz

m3/h
(L/min)

80(1333)

126(2100)

365(6,080)

701(11,700)

1,051(17,500)

到達壓力

0.67

*大排氣壓力
（吸入圧力）

大氣壓 *1

*大排氣壓力
（吸入圧力）

1~ 大氣壓

吸氣口 (CE規(guī)格)

VG50(KF50)

VG80(KF50)

VG80(KF80)

VG100(KF100)

排氣口

KF40

質量

180

245

275

370

420

電源

三相

VAC
(Hz)

200(50/60), 220(60)

電流值

穩(wěn)定時

7.1
(at 200V)

11.2
(at 200V)

7.8
(at 200V)

12.9
(at 200V)

15.4
(at 200V)

*大值

7.3
(at 200V)

11.8
(at 200V)

8.1
(at 200V)

13.8
(at 200V)

18.9
(at 200V)

冷卻水一次圧力

MPa

0.1~0.3

冷卻水出入口壓差

MPa

>0.1

冷卻水流量

L/min

>5.0

吹掃氣

一次壓力

MPa

0.1~0.5

二次壓力

MPa

0.05~0.1

N2吹掃

軸

SLM

氣鎮(zhèn)

SLM

0~45

*1 HR300、HR600、HR1200請勿在200Pa以上的吸入壓力下連續(xù)運轉。

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日本ULVAC愛發(fā)科HR系列羅茨型干泵

HR

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用途

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