Xensor Integration公司XEN-39472量熱傳感器芯片中溫度分布的高速動(dòng)力學(xué)

羅斯托克大學(xué) University of Rostock
薄膜量熱法是一種強(qiáng)大的工具，用于研究各種材料及其在納克范圍內(nèi)非常小的樣品的相變。超快芯片量熱法在技術(shù)上對(duì)重要的聚合物、金屬和復(fù)合材料的結(jié)晶動(dòng)力學(xué)和成核機(jī)制研究方面取得了巨大進(jìn)展。超快芯片量熱法的進(jìn)步提供了在微秒甚至更快的時(shí)間尺度上產(chǎn)生非平衡態(tài)和研究相變動(dòng)力學(xué)的可能性。
羅斯托克大學(xué)進(jìn)行的實(shí)驗(yàn)側(cè)重于Xensor Integration的XEN-39472量熱傳感器中溫度分布的動(dòng)力學(xué)以及超快量熱法的理論背景。

 Xensor Integration公司XEN-39472微機(jī)械薄膜熱量計(jì)傳感器芯片，專(zhuān)為高溫掃描速率下的小樣品測(cè)量而設(shè)計(jì)

量熱計(jì)傳感器膜中心部分的放大圖像：在紅外和普通光下俯視傳感器。顏色代碼對(duì)應(yīng)于相對(duì)單位的紅外強(qiáng)度

掃描速率與溫度關(guān)系

參考資料
原始作品的段落主要用于說(shuō)明XEN-39472量熱傳感器在實(shí)驗(yàn)應(yīng)用中的使用。請(qǐng)聯(lián)系原作者或官方分銷(xiāo)商以獲取完整出版物。

通過(guò)高分辨率A.Minakov、J.Morikawa、E.Zhuravlev、M.Ryu、A.W.van Herwaarden和C.Schick的紅外熱成像測(cè)量的超快（高達(dá)108 K/s）芯片納米量熱計(jì)中溫度分布的高速動(dòng)力學(xué)在線(xiàn)發(fā)表：2019年2月1日

High-speed dynamics of temperature distribution in ultrafast (up to 108 K/s) chipnanocalorimeters, measured by infrared thermography of high resolution A. Minakov, J. Morikawa, E. Zhuravlev, M. Ryu, A. W. van Herwaarden, and C. Schick Published Online: 01 February 2019

關(guān)于荷蘭Xensor Integration公司

Xensor Integration是一家高科技公司，專(zhuān)注于使用計(jì)算機(jī)芯片技術(shù)制造MEMS傳感器（微機(jī)電系統(tǒng)）的定制設(shè)計(jì)、原型設(shè)計(jì)和生產(chǎn)。Xensor擁有一系列現(xiàn)成的標(biāo)準(zhǔn)MEMS熱導(dǎo)率氣體敏感元件、氣體傳感器和量熱計(jì)傳感器芯片。經(jīng)典的XEN-3880和XEN-3920熱導(dǎo)率氣體敏感元件和XEN-5320是一種智能氣體傳感器，在需要分析二元?dú)怏w混合物的工業(yè)中有著廣泛的應(yīng)用。該傳感器基于環(huán)境氣體的熱導(dǎo)率測(cè)量，使用經(jīng)驗(yàn)證的熱導(dǎo)率傳感器XEN-3880。XEN-3880和XEN-5320應(yīng)用包括皮拉尼真空計(jì)、氣體擴(kuò)散率的檢測(cè)以及氫氣、氦氣等二元?dú)怏w成分的測(cè)量。

量熱計(jì)傳感器芯片
Xensor Integration公司XEN-393和XEN-394系列微加工薄膜熱量計(jì)傳感器專(zhuān)為高溫掃描速率下的小樣品測(cè)量而設(shè)計(jì)。XEN-393系列采用鋁互連制成，將其溫度范圍限制在比具有金互連的XEN-394系列更低的范圍內(nèi)。量熱傳感器具有單層或雙層超薄氮化硅膜，其特征是對(duì)環(huán)境的高熱阻和非常小的時(shí)間常數(shù)。這使得這些傳感器特別適用于氣體環(huán)境中的測(cè)量和快速測(cè)量，如快速掃描量熱法。