黛爾特公司紅外四氟化碳傳感器|CF4傳感器技術(shù)特點

四氟化碳是一種鹵代烴，化學(xué)式CF4。溫室氣體，其造成溫室效應(yīng)的作用是二氧化碳的數(shù)千倍。它用于各種集成電路的等離子刻蝕工藝，也用作高壓開關(guān)內(nèi)絕緣氣體。將高濃度的CF4和SF6配比，例如40%vol CF4+60%vol SF6充入GIS系統(tǒng)，這樣能夠有效地降低SF6的液化溫度。CF4也是惰性氣體，分子量比SF6小，液化溫度也遠遠地低于SF6，這樣就能很好的保護GIS氣體絕緣開關(guān)設(shè)備了。

紅外四氟化碳傳感器|CF4傳感器用途:

• 四氟化碳（CF4）泄漏檢測
• 高壓開關(guān)（GIS）四氟化碳濃度檢測

紅外四氟化碳傳感器|CF4傳感器技術(shù)參數(shù):

檢測原理：非色散紅外(NDIR)
檢測量程：0~1000ppm 或10%~70%Vol. CF4（四氟化碳）
采樣方式：流通式
響應(yīng)時間（T90）：≤5 s (@0.5L/min)
回零時間：≤8 s (@0.5L/min)

檢測精度：+/-10 ppm@20°C
零點溫漂：+/-10 ppm (全溫度范圍)
分辨率：1 ppm
*低檢測下限：1 ppm

供電：9-24VDC

功耗：<1 W(平均）；<1.5 W(峰值）

輸出信號：TTL電平（3.3VDC）

工作溫度：-20~50°C
氣體濕度：0~ 85% RH(非冷凝)
推薦流量：0.3L/min ~ 0.8L/min
壓力范圍：50~ 200kPa絕壓

• 分辨率：0.06%vol
• 將SF6背景氣的干擾全部扣除；
• 精度好，常溫：±1.0%，全溫：±5.0%rel；
• 響應(yīng)時間：10秒