InnaLabs石英加速度計結構原理









































石英撓性加速計|石英擺式加速度計|石英加速度計技術資料下載
愛爾蘭InnaLabs®公司是一家歐洲高科技中小企業(yè),在慣性傳感器技術領域擁有數(shù)十年的成熟實踐經驗,由約翰·奧利里于2012年創(chuàng)立。從那時起,InnaLabs®已發(fā)展成為一家國際知名的高科技公司,涉足航天、航空、陸地、海洋和新興技術市場。我們的高性能石英加速計、陀螺儀和系統(tǒng)滿足客戶對**制導、穩(wěn)定、導航和定向應用的嚴格要求。
安裝到導航系統(tǒng)、制導系統(tǒng)以及控制系統(tǒng)中的加速度計必須滿足對精度、穩(wěn)定性和線性度等方面的苛刻要求。目前,僅有兩類結構原理產品的技術能夠滿足要求,即振梁加速度計和石英擺式加速度計,石英加速度計自20世紀90年代問世以來,迅速成長為上等導航應用領域使用zui為廣泛的一種加速度計,其地位至今仍絲毫未被撼動。
一、InnaLabs石英加速度計結構原理
InnaLabs®公司擺式石英加速度計檢測質量的核心部件是一塊高純度熔融石英擺片,由兩個薄鉸鏈連接到剛性外框架上;擺片為單片結構;擺片上的電極圖形是使用金膜沉積而成,用于電容檢測和連接力矩導線。 InnaLabs®公司生產石英擺時選用傳統(tǒng)濕法刻蝕技術,屬于晶片級工藝。石英加速度計外框被兩塊呈對稱分布的磁鋼組件夾在中間,磁鋼組件包括高穩(wěn)定性磁鋼和鎳鐵合金殼,從而形成石英加速度計單元的總體結構。在擺片和磁鋼組件之間留有20μm的小間隙,旨在擺片的兩邊構建一個由兩個電容極板組成的系統(tǒng), 用于電容檢測和擠壓膜阻尼。當檢測質量被垂直施加加速度時,伺服回路電路從檢測電容獲得誤差信號并將電流傳送進擺片兩邊對稱安裝的兩個線圈中。然后,在輸入加速度寬頻帶范圍內(如:典型值>2 kHz),對線圈施加拉普拉斯力,這樣,檢測質量將會保持在零位,其中心在零位位置上。當通過線圈的電流與施加的加速度成正比時,同樣流經外部負載電阻的電流會產生與加速度成正比的輸出電壓。石英加速度計單元與一塊電子感應電路板相連,電路板上裝有用于控制擺角位置的伺服回路和溫度敏感器。所有這些零部件都被固定到一個氣密金屬殼體中,從而組成一套完整的加速度計產品。
二、InnaLabs石英加速度計產品線
愛爾蘭Innalabs公司石英加速度計產品系列:導航級:AI-Q-2010,AI-Q-2020,AI-Q-2030;控制級:AI-Q-550,AI-Q-1410;測量級:AI-Q-710;工業(yè)級:AI-Q-560,AI-Q-810,AI-Q-2071,AI-Q-2110,AI-Q-2120和AI-Q-2030。

Innalabs公司石英加速度計產品均在愛爾蘭都柏林批量批產,屬于“ITAR FREE”型產品,即不包含美國零部件,不需要遵守國際武器貿易條例,可以合法出口,目標市場主要是導航、戰(zhàn)術、控制與測量等慣性領域。