DRUCK德魯克ADTS552F大氣數(shù)據(jù)測試儀和硅諧振硅壓力傳感器技術(shù)

德魯克ADTS552F大氣數(shù)據(jù)測試儀是航空工業(yè)中使用的先進(jìn)的動(dòng)靜壓系統(tǒng)校準(zhǔn)儀器，用于測試和校準(zhǔn)高度表、空速表和升降速度表、和大氣數(shù)據(jù)計(jì)算等大氣數(shù)據(jù)系統(tǒng)儀器。其關(guān)鍵技術(shù)進(jìn)步之一是集成了溝槽刻蝕諧振硅壓力傳感器技術(shù)（TERPS），提高了其精度、可靠性和性能。它為飛機(jī)維修制造車間和現(xiàn)場使用而設(shè)計(jì)，使其成為飛機(jī)維護(hù)、飛行前檢查和故障排除的通用工具，廣泛應(yīng)用于航空業(yè)，以確保關(guān)鍵飛行航空儀表的準(zhǔn)確性和可靠性。

1.高精度和準(zhǔn)確度：
-溝槽刻蝕硅諧振硅壓力傳感器以其良好的精度而聞名，通常在滿量程的±0.01%以內(nèi)。
-該技術(shù)使ADTS552F能夠測量高精度的壓力和真空信號，用于模擬高度、空速和爬升/下降速度。

2.穩(wěn)定性和重復(fù)性：
-溝槽刻蝕硅諧振硅壓力傳感器具有出色的長期穩(wěn)定性和可重復(fù)性，減少了頻繁重新校準(zhǔn)的需要。
-這確保了隨著時(shí)間的推移性能的一致性和可靠性（長期穩(wěn)定性）。
3.寬壓力范圍：
-ADTS552F涵蓋了廣泛的壓力和真空水平，使其適用于模擬各種飛行條件。
-典型壓力范圍：-15至150 psi（確切范圍可能因型號規(guī)格而異）。
4.快速響應(yīng)時(shí)間：
-諧振硅傳感器能夠快速響應(yīng)壓力變化，從而在測試過程中實(shí)現(xiàn)實(shí)時(shí)調(diào)整。
-這對于模擬動(dòng)態(tài)飛行條件尤為重要。
5.環(huán)境溫度補(bǔ)償：
-傳感器包括內(nèi)置的溫度和環(huán)境補(bǔ)償機(jī)制，以在不同條件下保持精度。
-這確保了在受控車間環(huán)境和惡劣現(xiàn)場條件下的可靠性能。
6.耐用性：
-諧振硅傳感器堅(jiān)固耐用，耐磨損，適合在要求苛刻的航空環(huán)境中長期使用。

• 飛機(jī)維護(hù)：在日常維護(hù)期間或維修后校準(zhǔn)和測試大氣數(shù)據(jù)航空儀器。
• 飛行前檢查：飛行前驗(yàn)證高度計(jì)、空速指示器和垂直速度指示器的準(zhǔn)確性。
• 故障排除：通過模擬特定的飛行條件來診斷皮動(dòng)靜壓系統(tǒng)或航空儀表的問題。
• 法規(guī)遵從性：確保飛機(jī)符合航空當(dāng)局對被測的大氣數(shù)據(jù)計(jì)算機(jī)等大氣數(shù)據(jù)航空儀表的精度和性能的要求。

ADTS552F大氣數(shù)據(jù)測試儀TERPS®（溝槽蝕刻諧振壓力傳感器）技術(shù)

TERPSTERPS®是一種諧振硅MEMS（微機(jī)電系統(tǒng)）壓力傳感器技術(shù)，可提供很高水平的性能。這種諧振硅壓力傳感器技術(shù)在設(shè)計(jì)和制造方面進(jìn)行了幾項(xiàng)關(guān)鍵創(chuàng)造，其精度和穩(wěn)定性是傳統(tǒng)壓力測量技術(shù)的10倍。Druck的市場領(lǐng)跑的專有壓力傳感技術(shù)，在用于Druck的壓力傳感器、校準(zhǔn)器、控制器和皮托靜壓測試儀時(shí)，提供了很好的精度、穩(wěn)定性和精度規(guī)格。經(jīng)過近十年的嚴(yán)格比較測試，證明TERPS®技術(shù)為客戶提供了良好的穩(wěn)定性（低漂移）、準(zhǔn)確性、魯棒性和速度。在同類比較中，Druck的壓力產(chǎn)品組合 采用TERPS®性能，其精度和穩(wěn)定性比傳統(tǒng)的硅基傳感技術(shù)高出10倍以上。其他可用的壓力測量技術(shù)，如石英、薄膜或光學(xué)壓力，無法與TERPS®相比。

• 通過使用絕緣體上硅（SOI）來控制諧振結(jié)構(gòu)的厚度和質(zhì)量，從而確定諧振頻率；
• 通過使用深反應(yīng)離子蝕刻（DRIE）來創(chuàng)建定義良好的特有結(jié)構(gòu)，以實(shí)現(xiàn)動(dòng)態(tài)質(zhì)量和力平衡，從而對介質(zhì)粘度不敏感；
• 通過使用DRIE創(chuàng)建復(fù)雜的低阻抗傳感技術(shù)來實(shí)現(xiàn)惡劣的介質(zhì)隔離；
• 通過使用硅熔融鍵合（SFB）實(shí)現(xiàn)低熱滯和低壓滯

數(shù)據(jù)支持的令人難以置信的諧振性能——在±0.0015%FS（15ppm）的條件下，TERPS®的精度和穩(wěn)定性是標(biāo)準(zhǔn)硅傳感器的十倍。TERPS®已經(jīng)過第三方的嚴(yán)格測試，結(jié)果可用，向客戶展示了其良好的穩(wěn)定性和準(zhǔn)確性。低成本高性能-TERPS®比石英更具彈性，提供石英精度和穩(wěn)定性，但具有在惡劣環(huán)境中具有彈性的額外優(yōu)勢，并且成本僅為石英的一小部分。在短交付周期內(nèi)實(shí)現(xiàn)產(chǎn)品靈活性——將TERPS®作為密封單元集成到傳感器中，使TERPS能夠生產(chǎn)出具有廣泛可變功能的產(chǎn)品。TERPS交付迅速，消除了與石英交付周期相關(guān)的問題。與傳統(tǒng)傳感技術(shù)相比 ，TERPS®準(zhǔn)確度x10、精度x10、穩(wěn)定性x10。

• 航空地面測試
• 水文學(xué)和海洋學(xué)
• 水位監(jiān)測-潮汐、壓載艙、海嘯探測
• 氣壓計(jì)和氣象站
• 渦輪機(jī)控制和優(yōu)化
• 工業(yè)自動(dòng)化中的壓力測量與控制
• 良好的精度和穩(wěn)定性意味著更少的維護(hù)和更少的校準(zhǔn)停機(jī)時(shí)間