德國(guó)Messkonzept公司FTC130熱導(dǎo)氣體傳感器測(cè)量方法

FTC130熱導(dǎo)氣體傳感器    FTC130-OEM熱導(dǎo)氣體傳感器

新聞關(guān)鍵詞：FTC130、熱導(dǎo)氣體傳感器、Messkonzept

20世紀(jì)20年代以來，在化學(xué)工業(yè)中，熱導(dǎo)氣體傳感器作為**臺(tái)用于過程氣體混合物的組成定量分析的儀器。每種氣體都有一個(gè)典型的導(dǎo)熱系數(shù)，由摩爾質(zhì)量和粘度決定。熱導(dǎo)氣體傳感器測(cè)量方法是氣體的混合物熱導(dǎo)率取決于氣體的熱導(dǎo)率及氣體混合物中的組分及其含量。因此不同組分氣體含量可以確定。熱導(dǎo)氣體分析儀和熱導(dǎo)傳感器原理的主要優(yōu)點(diǎn)是，不同于非分散紅外技術(shù)（NDIR）原理，它不僅可以測(cè)量具有長(zhǎng)久偶極矩的氣體。它能對(duì)稀有氣體（氦He、氬Ar、氖Ne等）和同核氣體(比如氫氣H2和氮?dú)釴2)。此外，它是穩(wěn)健和性價(jià)比高的一種測(cè)試方法。

如果不同的氣體組分具有明顯不同的熱導(dǎo)率，并且滿足以下條件之一，則熱導(dǎo)式氣體測(cè)量方法*有效：

1、該混合物僅包含兩種成分（二元混合物），例如N2中的CO2或N2中的H2。
2、混合物含有兩種以上的成分，但只有兩種氣體的含量在變化。

3、兩個(gè)或多個(gè)組份的熱導(dǎo)率相似，例如：測(cè)量H2和N2混合物（準(zhǔn)二元混合物）中的H2或He時(shí)。

FTC130熱導(dǎo)氣體傳感器原理

通過測(cè)量通過氣體混合物的熱源和散熱器之間的熱導(dǎo)率，F(xiàn)TC130熱導(dǎo)氣體傳感器得到的混合物被測(cè)氣體的含量。被測(cè)量氣體通過不銹鋼傳導(dǎo)到持保在60°C恒溫塊上的熱導(dǎo)氣體傳感器。使用控制回路使恒溫塊溫度穩(wěn)定可以作為散熱（槽）。微機(jī)械硅片薄膜作為散熱槽。兩個(gè)薄膜電阻集成在薄膜上，一個(gè)用于兩種薄膜都是用來測(cè)量溫度的。**個(gè)控制回路將膜溫穩(wěn)定在135℃。在薄膜的上方和下方，兩個(gè)小溝槽被蝕刻在硅上，此溝槽的被擴(kuò)散測(cè)量氣體填充。膜背面的表面與散熱器熱連接。取決于氣體熱導(dǎo)率，或多或少的能量是從膜表面被傳導(dǎo)走。需要電壓保持薄膜恒定是測(cè)量氣體熱導(dǎo)率的一種測(cè)試方法。薄膜上的兩個(gè)加熱電阻都由惰性涂層保護(hù)，以防止與被測(cè)量氣體發(fā)生化學(xué)反應(yīng)。

Messkonzept的FTC130熱導(dǎo)氣體傳感器可測(cè)量的氣體種類：