MEMS原理SF6傳感器根據(jù)被測(cè)SF6氣體和背景氣體的熱導(dǎo)率數(shù)不同來(lái)計(jì)算其中SF6氣體組份的含量。當(dāng)敏感元件吸附被測(cè)氣體時(shí)，熱導(dǎo)率發(fā)生變化，通過(guò)調(diào)理電路將熱導(dǎo)系數(shù)變化轉(zhuǎn)為電壓變化，據(jù)此可檢測(cè)氣體中濃度或含量。利用各種氣體不同的熱導(dǎo)系數(shù)，即具有不同的熱傳導(dǎo)速率來(lái)進(jìn)行測(cè)量的。當(dāng)被測(cè)氣體FS6以恒定的流速流入六氟化硫純度傳感器時(shí)，熱導(dǎo)池內(nèi)的鉑熱電阻絲的阻值會(huì)因被測(cè)氣體SF6的濃度變化而變化，運(yùn)用惠斯頓電橋?qū)⒆柚敌盘?hào)轉(zhuǎn)換成電信號(hào)，通過(guò)電路處理將信號(hào)放大、溫度補(bǔ)償、線性化，使其成為六氟化硫濃度測(cè)量值。MEMS原理SF6傳感器具有精度高，重復(fù)好和波動(dòng)性小受到市場(chǎng)應(yīng)用廣泛歡迎，目前也重新贏得工程師的信賴(lài)。

采用非分散紅外（NDIR）原理的六氟化硫純度傳感器測(cè)量SF6濃度在95%以上時(shí)，由于信號(hào)趨于飽和，數(shù)值具有很大的波動(dòng)性，同時(shí)重復(fù)差，無(wú)法滿(mǎn)足高壓開(kāi)關(guān)內(nèi)六氟化硫純度高精度測(cè)試的要求。SF6-100熱導(dǎo)式傳感器是采用MEMS技術(shù)設(shè)計(jì)的一款SF6氣體純度傳感器，通過(guò)直接測(cè)量氣體熱導(dǎo)率方式運(yùn)行，內(nèi)部沒(méi)有加熱燈絲，也不需要參考?xì)?。SF6-100傳感器沒(méi)有采用傳統(tǒng)的大功率的恒溫氣室設(shè)計(jì)，而采用獨(dú)特溫度補(bǔ)償?shù)乃惴ǎ稍?40℃~+85℃下保證測(cè)量準(zhǔn)確度和重復(fù)性，且波動(dòng)性很小。傳感器同時(shí)功耗只有0.15W，是傳統(tǒng)的熱導(dǎo)原理傳感器的1/20。SF6-100傳感器同時(shí)對(duì)濕度進(jìn)行修正，達(dá)到±1%FS測(cè)量精度。黛爾特（北京）科技有限公司提供六氟化硫傳感器和SF6純度傳感器

SF6-100采用的專(zhuān)有的精密的電路設(shè)計(jì)，T90響應(yīng)時(shí)間（@1000ml/分鐘）非?？?，只有3秒，達(dá)到讀數(shù)穩(wěn)定的時(shí)間T100為8秒，而傳統(tǒng)的熱導(dǎo)傳感器需要120~150秒。SF6-100無(wú)需加熱恒溫的等待（至少30分鐘加熱時(shí)間），從開(kāi)機(jī)到測(cè)量工作結(jié)束大約需要在2分鐘內(nèi)完成，極大地提高了測(cè)量效率。SF6-100的體積小、低功耗和重量輕（約150g）的特點(diǎn)，非常適合集成便攜式SF6儀表內(nèi)。

低功耗快速響應(yīng)SF6傳感器產(chǎn)品優(yōu)點(diǎn)

• 無(wú)需加熱恒溫等待，即插即用
• 低功耗，約0.15W
• 快速響應(yīng)，約3秒(T90，@1.0L/min.)。
• 外形尺寸小、重量輕(150g)
• 溫度和濕度修正補(bǔ)償
• 同時(shí)測(cè)量六氟化硫(SF6)濃度、相對(duì)濕度（RH）和溫度三個(gè)參數(shù)
• 0.5~2.5VDC和5V TTL輸出
• -40~+85℃寬的工作溫度范圍
• 長(zhǎng)達(dá)10+年的使用壽命
• 精度高，重復(fù)性好，波動(dòng)小，適合純度測(cè)量