該P(yáng)ECVD系統(tǒng)爐在傳統(tǒng)PECVD系統(tǒng)基礎(chǔ)上實現(xiàn)了快速加熱、冷卻功能，該爐底部安裝了一對滑軌，可手動滑動。采用雙層殼體結(jié)構(gòu)。該爐安裝有行程開關(guān)，當(dāng)爐蓋打開時會自動切斷電源，有效地保證使用者的**。加熱和冷卻速率*大可達(dá)100°C/min。為取得*快加熱，可以預(yù)先加熱爐子到設(shè)定的溫度，然后移動爐子到樣品位置。為獲得*快冷卻，可在樣品加熱后移動爐子到另一端。加熱和冷卻速率在真空或者惰性氣體環(huán)境下可以達(dá)到10°C/S，是低成本快速熱處理的理想爐。
PECVD系統(tǒng)爐技術(shù)參數(shù)：
1.溫控方式：智能化30段可編程控制 2.*高溫度：1200℃ 3.電壓：220V
4.額定溫度：1150℃ 5.熱電偶：K型 6.加熱段長：400mm
7.加熱元件：瑞典Kanthal-A1電阻絲
8.升溫速率：≤20℃/min 推薦升溫速率：≤10℃/min
9.真空法蘭和接頭：詳細(xì)參數(shù)請轉(zhuǎn)看第31頁
10.質(zhì)量流量計：詳細(xì)參數(shù)請轉(zhuǎn)看第31頁
11.射頻電源：詳細(xì)參數(shù)請轉(zhuǎn)看第31頁
型號
TL1200-H-PE-I
TL1200-H-PE-II
TL1200-H-PE-III
爐管尺寸
Φ60X1800
Φ80X1800
Φ100X1800
功率(KW)
2.5
3.5