滑竿式三溫區(qū)PECVD系統(tǒng)由TL1200真空立式爐、石英真空室、射頻電源、GX供氣系統(tǒng)、抽氣系統(tǒng)、真空測(cè)量系統(tǒng)組成。滑竿式三溫區(qū)PECVD系統(tǒng)采用雙層殼體結(jié)構(gòu)，爐膛采用氧化鋁多晶纖維材料，抽真空時(shí)真空度能夠達(dá)到10-3Pa。該爐安裝有行程開關(guān)，當(dāng)爐蓋打開時(shí)會(huì)自動(dòng)切斷電源，有效地保證使用者的**。該爐通過(guò)射頻電源把石英真空室內(nèi)的氣體變?yōu)殡x子態(tài)。PECVD比普通CVD進(jìn)行化學(xué)氣相沉積所需的溫度更低可以通過(guò)射頻電源的頻率來(lái)控制所沉積薄膜的應(yīng)力大小PECVD比普通CVD進(jìn)行化學(xué)氣相沉積速率高、均勻性好、一致性和穩(wěn)定性高。廣泛應(yīng)用于各種薄膜的生長(zhǎng)。
滑竿式三溫區(qū)PECVD系統(tǒng)技術(shù)參數(shù)：
1.型號(hào)：TL1200-1400-1200-H-PE-I 2.各溫區(qū)額定溫度：?1100℃ ?1300℃ ?1100℃
3.爐管長(zhǎng)度：Φ60X2700mm 4.各溫區(qū)*高溫度：?1200℃ ?1400℃ ?1200℃
5.功率：6KW 6.電壓：220V
7.各溫區(qū)加熱段：200mm+200mm+200mm 8.升溫速率：≤30℃/min
9.加熱元件：??瑞典康泰電阻絲?硅碳棒 10.各溫區(qū)熱電偶：?K型 ?S型 ?K型
11.溫控方式：智能化30段可編程控制 12.真空法蘭和接頭：詳細(xì)參數(shù)請(qǐng)轉(zhuǎn)看第31頁(yè)
13.質(zhì)量流量計(jì)：詳細(xì)參數(shù)請(qǐng)轉(zhuǎn)看彩頁(yè)第31頁(yè)
14.射頻電源：詳細(xì)參數(shù)請(qǐng)轉(zhuǎn)看彩頁(yè)第31頁(yè)