該產(chǎn)品主要用來測試襯底為化合物（碳化硅（SiC）或藍寶石（Sapphire））的高電子遷移率晶體管（HEMT）結(jié)構(gòu)，測試參數(shù)為外延層的參雜濃度和電阻率（在遷移率為已知的條件下），同時還可以測試載流子濃度分布，平帶電壓（在該結(jié)構(gòu)表層為介電層的條件下）以及界面態(tài)密度。采用特殊的汞探針探頭，具有**的電極面積，從而得到更精準、可靠的數(shù)據(jù)。
1、CVmap 92A main body（原材料一）
名稱
CVmap 92A mainbody設(shè)備主機
尺寸
50.8cm(Depth)、55.9cm(Width)、33cm(height)
重量
56kg
功率
95W
2、Computer（原材料二）
CV main computer軟件運行電腦
43.2cm(depth),17.8cm(width),45.72cm(height)
9.1kg
性能
≥I5處理器，HardDisk 1T, Memory 8G
20W
………
2、Monitor（原材料三）
Monitor 顯示器
5.08cm(depth),43.2cm(width),30.5cm(height)
3.7kg
13W
3、E4980A源表（原材料四）
E4980A信號源表
37.5cm(Width)x39cm(Depth)x11(Height)cm
5.3kg
43W
4、CVmap 92A Embeded Controller（原材料四）
Embeded computer嵌入式控制器
18cm(Width)x43.2 (Depth)x18cm(Height)
3.2kg
28W
序號
項目
參數(shù)
備注
1
測量尺寸
20x20mm~200mm晶片.
2
效率
30s/點
3
能耗
200W
4
性能 等
探頭點面積：大約0.02平方厘米
探頭接觸面積的重復(fù)性：優(yōu)于1%
…….
功能要求
數(shù)量
單位
CVmap 92A main body
提供汞接觸的主機平臺
臺
控制單元
控制主機運動及測試
個
定制電腦
軟件運行及操作
套
E4980A
提供100K及1MHz測試頻率
設(shè)備主要配置表
主要部件名稱（描述）
型號規(guī)格
品牌
汞探針系統(tǒng)主機
CVmap92A
4D
軟件包
#1軟件包
探頭
點狀探頭
汞瓶
含10毫升汞
5
真空管
10英尺
6
壓縮空氣管
7
電腦主機
定制
8
控制器
9
鼠標(biāo)和鍵盤
10
汞泄露處理套裝
粵公網(wǎng)安備 44030402001250號