SQM160膜厚監(jiān)測(cè)儀是利用INFICON石英晶體傳感技術(shù)在鍍膜過(guò)程中測(cè)量沉積速率和膜厚的精密儀器，標(biāo)準(zhǔn)型有兩路傳感器輸入，同時(shí)，4路傳感器輸入可選，具體視用戶實(shí)際應(yīng)用而定；雙輸出可以向操作者提供直觀的模擬沉積速率及膜厚信號(hào)。
在大型系統(tǒng)中，傳感器輸入可以分配給不同材料，采集的數(shù)據(jù)通過(guò)平均值，以達(dá)到更**的沉積控制；也可以設(shè)定為雙探頭模式。在高沉積速率過(guò)程中，為了延長(zhǎng)傳感器的使用壽命，速率采集 模式允許探頭帶一個(gè)檔板。用戶可以自己選擇0.1埃/s 還是0.01埃/s的速率顯示模式.另外，還可以選擇頻率或質(zhì)量顯示模式。SQM160的四路繼電輸出可以用來(lái)控制沉積源、探頭檔板、信號(hào)時(shí)間、膜厚設(shè)定值以及晶片失效信號(hào)等。
SQM160膜厚監(jiān)測(cè)儀產(chǎn)品特點(diǎn)： 雙通道（標(biāo)準(zhǔn)型），四通道可選 沉積速率/膜層厚度模擬輸出 高精度: 0.03Hz at 10個(gè)讀數(shù)/s RS-232 接口, USB 或以太網(wǎng)可選