IC6 膜厚控制儀將INFICON 薄膜控制儀驗證的性能與獨特的特性結(jié)合提供超常的價值, 全部設計為您的鍍膜過程取得*好的效果. IC6 膜厚控制儀采用我們的 ModeLock 頻率測量系統(tǒng)確保*好的穩(wěn)定性, *高的分辨率和膜厚測量精度, 具有工業(yè)領先的速率辨 .00433 A/秒, 每 1/10 秒. 光學過程, 如反射膜, 帶通濾光器,和增透膜得益于它的高分辨率和可靠性, 以及容納每個過程 200 個膜層, 50 個過程的能力. 無其它石英晶體控制器有 IC6 這樣的性能, 質(zhì)量和特色, 以及優(yōu)異的可重復性。
IC6膜厚控制儀可靠的過程控制
有**的特性清單, 可容易地將 IC6 集成于您的系統(tǒng)實現(xiàn)完全的過程控制. 對于速率和膜厚控制, IC6 有同時控制多至 6 個蒸發(fā)源的能力. 對于源控制或速率和膜厚記錄, IC6 可指定多至 12個模擬輸出.儀器的邏輯和過程控制能力包括 100 個可編程的邏輯語句, 20個計數(shù)器和 20 個定時器. I/O 功能提供多至 24 個繼電器輸出,28個 TTL 輸入, 和 14 個 TTL 輸出. 邏輯語句可用于與外輸入或輸出協(xié)同; 允許 IC6 執(zhí)行 PLC 或其它額外設備的功能. 每個邏輯語句可包括多至 5 個可用 Boolean (布爾) 邏輯鏈接的功能。
為過程配方的靈活性, IC6 可容納 50 個過程, 每個過程 200個膜層. 可將過程鏈接在一起達到*大 10,000 個膜層.Auto Z 顯著地為多材料和多膜層提高膜厚測量的**度.儀器的 Auto Z 功能可自動確定 Z-比值, 保持膜厚和速率精度,和免除用戶估值聲阻的需要. 當不同材料沉積在同一晶體上, 在兩種或三種材料共鍍膜, 或當材料的Z-比值未知時, 這是尤其重要的。
IC6膜厚控制儀功能概覽
INFICON ModeLock 技術(shù)確保獲得*高、*穩(wěn)定的速率和厚度測量分辨率，即使在速率極低的情況下
Auto Z 技術(shù)通過自動測定沉積材料的 Z 比值，提高厚度測量的精度
一個 IC6 即可同時、單獨或以任何組合方式控制*多 6 個來源，無需使用兩個或三個控制器
彩色 TFT LCD 顯示屏使用戶很容易看到過程的進展狀況
10 Hz 測量
100ms 樣本速率下頻率范圍為 +/-0.0035 Hz
USB 數(shù)據(jù)存儲功能可存儲屏幕截圖、配方存儲和數(shù)據(jù)記錄
多個源厚度合計功能
測量低密度、低速率材料的平均速率（使用穩(wěn)定源的低速率 OLED 摻雜材料沉積*多 30 秒）
速率顯示分辨率可達 0.001/s
4 米 XIU 選件能夠在大型系統(tǒng)中使用較長的真空傳感器電纜
無沉積控制允許持續(xù)控制源，因為基片可以通過沉積室不斷循環(huán)
6 個標準 DAC 輸出和另外 6 個可選輸出用于來源控制、速率或厚度監(jiān)控
可選以太網(wǎng)通信
符合 RoHS 標準
IC6膜厚控制儀在保留了IC5的所有技術(shù)特點之外，增加了如下幾點新功能：
1）TFT-LCD顯示屏替代IC5的CRT顯像管
2）USB數(shù)據(jù)采集接口取代IC5的軟盤驅(qū)動
3）測量精度由IC5的0.0047HZ提高到0.0035HZ
4）厚度控制分辨率由IC5的0.0058埃提高到0.0043埃
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