一、 無(wú)塵室定義
將空氣中之塵埃、壓力、溫度、濕度、氣流分布之情形及速度，控制于一定范圍內(nèi)之空間。此處所指之塵埃為肉眼無(wú)法看見(jiàn)的灰塵及粒子，且指一般 空氣清凈機(jī) 無(wú)法完全**之灰塵。
無(wú)塵室一般分為電子、精密工業(yè)用IndustraialCleanRoom（ICR）；及需控制微生物濃度等制藥、食品產(chǎn)業(yè)用BiologicalCleanRoo（BCR）。
二、聯(lián)邦規(guī)格無(wú)塵室等級(jí)
現(xiàn)今一般多奉行與美國(guó)所制定的聯(lián)邦規(guī)格（U.S.Federalstandard209b），BCR則多參考明定生物粒子限制值的NASA規(guī)格（美國(guó)航空
署5340.2規(guī)格）。
其Fed.std 清潔度 的表示法為：1ft3空氣中，含有多少個(gè)0.5μm（micro）以上的微粒子，及稱為[等級(jí)○○]。例如：空氣中含有10個(gè)0.5μm以下 時(shí)，表示為“等級(jí)10”。二自然界大氣中通常含有300000~30000000個(gè)微粒子。
三、在JIS標(biāo)準(zhǔn)下，無(wú)塵室清潔度，共分為8個(gè)等級(jí)
一般清潔度是指 空氣的潔凈等級(jí) ，分為等級(jí)1、2···8，8階段。在1立方公尺的空氣中，粒徑0.1微米的灰塵若是在10個(gè)以下時(shí)為1；百個(gè)以下 是100=102是等級(jí)2；千個(gè)以下時(shí)是1000=103等級(jí)3，依次類推。
21世紀(jì)***產(chǎn)業(yè)的發(fā)展，加速了產(chǎn)業(yè)結(jié)構(gòu)的變革，無(wú)塵室設(shè)立之必要性也相對(duì)地提高。商品日漸的小型化和精密化，塵埃和濕度的變化對(duì)商品 的完成度亦造成極大的危害，導(dǎo)致品質(zhì)低下。伴隨商品的高品質(zhì)要求，環(huán)境無(wú)塵化的需求也日益提高。因此在無(wú)塵室中用防塵材料及商品都顯得格外重要。
所謂的 無(wú)塵室是一個(gè)人造的環(huán)境，里面含有的粒子遠(yuǎn)低于一般的環(huán)境，隨著集成電路的級(jí)數(shù)的快速成長(zhǎng)，也增加了對(duì)制造環(huán)境(無(wú)塵室)潔凈度要 求，在工業(yè)上即使使粒子之尺寸想小于0.1微米.也可能阻礙產(chǎn)品的運(yùn)作或降低其壽命。優(yōu)于納米技術(shù)的興起，造成半導(dǎo)體關(guān)鍵尺寸持續(xù)縮小，集 成電路積集度不斷地增加，塵粒更容易使芯片失效或可靠度惡化。例如當(dāng)金屬塵粒落到金屬導(dǎo)線時(shí)，就可能會(huì)使金屬導(dǎo)線形成短路。又如果有酸性的離子化合物塵粒掉在金屬導(dǎo)線上，可能將其腐蝕，所以無(wú)塵室為集成電路制造不可或缺的要素。
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