一、 無塵室定義
將空氣中之塵埃、壓力、溫度、濕度、氣流分布之情形及速度，控制于一定范圍內(nèi)之空間。此處所指之塵埃為肉眼無法看見的灰塵及粒子，且指一般 空氣清凈機 無法完全**之灰塵。
無塵室一般分為電子、精密工業(yè)用IndustraialCleanRoom（ICR）；及需控制微生物濃度等制藥、食品產(chǎn)業(yè)用BiologicalCleanRoo（BCR）。
二、聯(lián)邦規(guī)格無塵室等級
現(xiàn)今一般多奉行與美國所制定的聯(lián)邦規(guī)格（U.S.Federalstandard209b），BCR則多參考明定生物粒子限制值的NASA規(guī)格（美國航空
署5340.2規(guī)格）。
其Fed.std 清潔度 的表示法為：1ft3空氣中，含有多少個0.5μm（micro）以上的微粒子，及稱為[等級○○]。例如：空氣中含有10個0.5μm以下 時，表示為“等級10”。二自然界大氣中通常含有300000~30000000個微粒子。
三、在JIS標準下，無塵室清潔度，共分為8個等級
一般清潔度是指 空氣的潔凈等級 ，分為等級1、2···8，8階段。在1立方公尺的空氣中，粒徑0.1微米的灰塵若是在10個以下時為1；百個以下 是100=102是等級2；千個以下時是1000=103等級3，依次類推。
21世紀***產(chǎn)業(yè)的發(fā)展，加速了產(chǎn)業(yè)結構的變革，無塵室設立之必要性也相對地提高。商品日漸的小型化和精密化，塵埃和濕度的變化對商品 的完成度亦造成極大的危害，導致品質低下。伴隨商品的高品質要求，環(huán)境無塵化的需求也日益提高。因此在無塵室中用防塵材料及商品都顯得格外重要。
所謂的 無塵室是一個人造的環(huán)境，里面含有的粒子遠低于一般的環(huán)境，隨著集成電路的級數(shù)的快速成長，也增加了對制造環(huán)境(無塵室)潔凈度要 求，在工業(yè)上即使使粒子之尺寸想小于0.1微米.也可能阻礙產(chǎn)品的運作或降低其壽命。優(yōu)于納米技術的興起，造成半導體關鍵尺寸持續(xù)縮小，集 成電路積集度不斷地增加，塵粒更容易使芯片失效或可靠度惡化。例如當金屬塵粒落到金屬導線時，就可能會使金屬導線形成短路。又如果有酸性的離子化合物塵粒掉在金屬導線上，可能將其腐蝕，所以無塵室為集成電路制造不可或缺的要素。
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