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產(chǎn)品資料

Auto306

Auto306
  • 如果您對該產(chǎn)品感興趣的話，可以
  • 產(chǎn)品名稱：Auto306
  • 產(chǎn)品型號：
  • 產(chǎn)品展商：HHV
  • 產(chǎn)品文檔：無相關(guān)文檔
簡單介紹
Auto306真空鍍膜系統(tǒng)能選配多種真空系統(tǒng)、真空腔室、蒸發(fā)鍍膜附件，可滿足研發(fā)實驗室的各種需求。用戶可選擇單個熱阻源，或多個蒸鍍源，使得在不破壞真空環(huán)境的情況下進(jìn)行多層膜的沉積。一系列的樣品夾具、遮擋板、基板加熱器、膜厚監(jiān)測和控制可選擇裝配在Auto306上，以滿足不同實驗應(yīng)用。
產(chǎn)品描述
品牌概述
HHV Ltd 成立于1960年,隸屬于印度班加羅爾HHV Pvt., 是一家歷史*悠久的薄膜和真空技術(shù)公司. 該公司擁有眾多研究所,大學(xué)院校及工業(yè)生產(chǎn)客戶。近年來,HHV Pvt成為Edwards的制造商,生產(chǎn)如Auto306, Auto500 和TF600 等現(xiàn)代薄膜沉積系統(tǒng)。.
 
應(yīng)用領(lǐng)域
Auto306用于研究與開發(fā)
Auto能選配多種真空系統(tǒng)、真空腔室、蒸發(fā)鍍膜附件，可滿足研發(fā)實驗室的各種需求。用戶可選擇單個熱阻源，或多個蒸鍍源，使得在不破壞真空環(huán)境的情況下進(jìn)行多層膜的沉積。一系列的樣品夾具、遮擋板、基板加熱器、膜厚監(jiān)測和控制可選擇裝配在Auto306上，以滿足不同實驗應(yīng)用。
模塊化的系統(tǒng)結(jié)構(gòu)設(shè)計使得用戶可在后期增加額外的工藝附件以強化Auto306的功能。 
Auto306應(yīng)用于電子顯微鏡
Auto306可選用一系列的工藝腔室、工藝附件、真空系統(tǒng)，為電子顯微鏡用戶提供相關(guān)的樣品制備技術(shù)滿足*先進(jìn)的透射電子顯微鏡和掃描電子顯微鏡的需要。
 
產(chǎn)品特點
Auto306可選擇配置鐘罩式玻璃腔室、圓柱形玻璃腔室，也可以配置通用的FL400前開門式不銹鋼箱式腔室。FL400腔室具有額外的高度與寬度，適用于安裝較多的工藝附件。
客戶可選擇的模塊化工藝附件，包括熱阻蒸發(fā)源及其控制電源、3kW EB3電子束蒸發(fā)源、遮擋板、基片夾具以及膜厚監(jiān)控儀等。
真空系統(tǒng)由觸屏PLC控制和監(jiān)控，易于操作；高真空泵選擇包括擴(kuò)散泵、渦輪分子泵、冷凝泵，并使用油封或干式泵作為支持泵。集成的具有備用電池的高真空閥門可在意外情況時保護(hù)泵和樣品。
特點和優(yōu)勢
觸屏PLC自動控制真空系統(tǒng)
多種可選薄膜沉積源和電源
多種可選樣品夾具
多種可選真空腔室
智能高真空閥門保護(hù)泵及樣品
緊湊型設(shè)計，*小化空間占用
無需壓縮空氣
完整的**使用互鎖保護(hù)
 
技術(shù)參數(shù)
極限真空
600 l/s 擴(kuò)散泵：2×10E-7 mbar
500 l/s 渦輪泵：2×10E-7 mbar
255 l/s 渦輪泵：5×10E-7 mbar 
抽真空時間
大氣壓到1×10E-5 mbar：4分鐘
大氣壓到1×10E-6 mbar：25分鐘 
水冷機： 75l/h 15-20℃
液氮容積：1.4L
Auto306真空鍍膜系統(tǒng)中國代理創(chuàng)世杰科技有限公司
 
 網(wǎng)址: http://www.micropowergroup.com
 郵件:bowenzhang@micropowergroup.com
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