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首頁?>?產(chǎn)品目錄?>?HHV真空鍍膜系統(tǒng)

產(chǎn)品圖片	產(chǎn)品名稱/型號(hào)	產(chǎn)品簡(jiǎn)單介紹
	TF600	HHV TF600真空鍍膜系統(tǒng)用于研發(fā)和生產(chǎn) HHV TF600的設(shè)計(jì)在于提高工藝等級(jí).客戶可選擇低成本PLC控制或完全PC控制. 600mm 寬腔體可選渦輪分子泵或冷凝泵,同時(shí)可用于離子束沉積和刻蝕. 憑借 600mm寬的腔室,客戶可選擇多種沉積模式和蒸發(fā)源以達(dá)到*大的生產(chǎn)效率.
	Auto500GB	Auto500GB真空鍍膜系統(tǒng)設(shè)計(jì)集成于手套箱內(nèi). 系統(tǒng)安裝了特殊的腔體,前置開門可在手套箱內(nèi)取放產(chǎn)品,后置鉸鏈門用于設(shè)備維修.蒸發(fā)源帶溫度控制,可用于有機(jī)材料的沉積
	Auto500	Auto500真空鍍膜系統(tǒng)是用于研究和預(yù)生產(chǎn)的多用途,前裝載的沉積系統(tǒng). 腔體可容納大尺寸基板,在不損失真空的環(huán)境下進(jìn)行熱阻蒸發(fā),電子束蒸發(fā)以及濺射工藝. 真空選件包含擴(kuò)散泵,渦輪分子泵,干泵及冷凝泵
	Auto306	Auto306真空鍍膜系統(tǒng)能選配多種真空系統(tǒng)、真空腔室、蒸發(fā)鍍膜附件，可滿足研發(fā)實(shí)驗(yàn)室的各種需求。用戶可選擇單個(gè)熱阻源，或多個(gè)蒸鍍?cè)?，使得在不破壞真空環(huán)境的情況下進(jìn)行多層膜的沉???。一系列的樣品夾具、遮擋板、基板加熱器、膜厚監(jiān)測(cè)和控制可選擇裝配在Auto306上，以滿足不同實(shí)驗(yàn)應(yīng)用。
	HHV/EDWARDS真空鍍膜系統(tǒng) AUTO系列	HHV/EDWARDS真空鍍膜系統(tǒng)是英國Edwards公司榮譽(yù)產(chǎn)品。HHV Auto系列是一種多功能鍍膜設(shè)備，設(shè)計(jì)用于滿足科研工作者和電子顯微學(xué)家的需求。 Auto系列可配備各種真空系統(tǒng)、真空腔室和標(biāo)準(zhǔn)化工藝附件，提供一系列實(shí)驗(yàn)技術(shù)以滿足現(xiàn)代化實(shí)驗(yàn)室的需要。

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