上海微行爐業(yè)有限公司

主營產(chǎn)品：

超高真空設備的研發(fā)設計與生產(chǎn)。

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企業(yè)信息

第12年

入駐時間： 2011-12-22
聯(lián)系人：楊
電話：15814477180
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推薦產(chǎn)品

產(chǎn)品詳情

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產(chǎn)品名稱：廣東PECVD（等離子體增強化學氣相沉積系統(tǒng)）
產(chǎn)品型號：TF1200-60-SL-4Z-LV-PECVD系列詳情咨詢15814477180 楊程
產(chǎn)品廠商：其它品牌
產(chǎn)品價格：0
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簡單介紹：

此款設備配有Plasma實現(xiàn)等離子增強，滑軌式設計在操作時可將實驗需要的恒定高溫直接推到樣品處，使樣品能得到一個快速的升溫速度，同樣也可將高溫的管式爐直接推離樣品處，使樣品直接暴露在室溫環(huán)境下，得到快速的降溫速率。并可選配氣氛微調(diào)裝置，可準確的控制反應腔體內(nèi)部的氣體壓力，帶刻度的調(diào)節(jié)閥對于做低壓CVD非常簡單實用，工藝重復性好，對于石墨烯生長工藝非常合適，也同樣適用于要求快速升降溫的CVD實驗。

詳情介紹：

主要功能和特點：

1、利用輝光放電產(chǎn)生等離子體電子激活氣相；

2、提高了氣相反應的沉積速率、成膜質(zhì)量；

3、可通過調(diào)整射頻電源頻率來控制沉積速率；

4、能廣泛用于：石墨烯、SiO_x、SiN_x、CN_x、TiC_xN_y等薄膜的生長。