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產(chǎn)品名稱(chēng)：高純氣體減壓閥
產(chǎn)品型號(hào)：E71
產(chǎn)品展商：MESSER
產(chǎn)品文檔：無(wú)相關(guān)文檔

簡(jiǎn)單介紹

E71高純氣體減壓閥適用于高純氣體的減壓，氣體等級(jí)8.0。*大入口壓力40bar，*大出口壓力10bar，Cv流量系數(shù)0.7，接口為1/2"VCR公頭或母頭。

產(chǎn)品描述

感應(yīng)形式…………膜片式
減壓級(jí)數(shù)…………單級(jí)
入口壓力…………max. 40bar，更高入口壓力請(qǐng)咨詢(xún)本公司
出口壓力…………1.5/4/10bar
調(diào)壓方式…………手柄調(diào)節(jié)
接口尺寸…………1/4"VCR公頭或母頭，其他接口形式請(qǐng)咨詢(xún)本公司
表面拋光度………R_a≤0.25μm，可選R_a≤0.18μm（電子拋光）
流量系數(shù)…………Cv=0.7
重量………………1.5kg
材質(zhì)
閥體………………316L不銹鋼
膜片………………哈氏合金
其他過(guò)流部件……316L不銹鋼
閥座………………PCTFE

E71高純氣體減壓閥選型說(shuō)明
E71-M：介質(zhì)不接觸彈簧型。*低限度地減小產(chǎn)生顆粒的可能性。

E71-0	200	10	P	M	VF	M	M
型號(hào)	進(jìn)氣壓力P₁	出氣壓力P₂	表面等級(jí)	進(jìn)氣接頭	出氣接頭	進(jìn)氣指示	出氣指示
E71-0 E71-M	40-max.40bar 更高入口壓力請(qǐng)咨詢(xún)本公司	1.5-max.1.5 bar 4-max.4 bar 10-max.10 bar	P-Ra≤0.25μm HP-Ra≤0.18μm	M-1/2” VCR公頭 F-1/2”VCR母頭		B-無(wú)（堵頭） M-壓力表 K-電接點(diǎn)壓力表 D-壓力傳感器 0-VCR接口

E71高純氣體減壓閥產(chǎn)品特征
為小流量?jī)?yōu)化設(shè)計(jì)，內(nèi)表面電子級(jí)拋光處理
*小化內(nèi)部容積以縮短吹掃時(shí)間
所有過(guò)流部件都采用316L不銹鋼、哈氏合金、PCTFE、PVDF材質(zhì)
高精度控制
金屬對(duì)金屬密封
通過(guò)手柄實(shí)現(xiàn)出口壓力限位
100%氦氣檢漏測(cè)試
100/10級(jí)無(wú)塵室內(nèi)組裝
可要求提供SEMASPEC認(rèn)證文件
Spectropur產(chǎn)品所有過(guò)流部件都經(jīng)過(guò)Spectro-clean超聲波（CFC-FREE）清洗并烘干

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高純氣體減壓閥