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產(chǎn)品資料

梅塞爾高純氣體減壓閥

梅塞爾高純氣體減壓閥
  • 如果您對該產(chǎn)品感興趣的話,可以
  • 產(chǎn)品名稱:梅塞爾高純氣體減壓閥
  • 產(chǎn)品型號:E61
  • 產(chǎn)品展商:MESSER
  • 產(chǎn)品文檔:無相關(guān)文檔
簡單介紹
E61梅塞爾高純氣體減壓閥適用于高純氣體的減壓,氣體等級8.0。*大入口壓力200bar,*大出口壓力10bar,Cv流量系數(shù)0.15,接口為1/4"VCR公頭或母頭。E61高純減壓閥有平膜片型,介質(zhì)不接觸彈簧型和**壓力型可選
產(chǎn)品描述
感應(yīng)形式…………膜片式
減壓級數(shù)…………單級
入口壓力…………max. 200bar
出口壓力…………1.5/4/10bar
調(diào)壓方式…………手柄調(diào)節(jié)
接口尺寸…………1/4"VCR公頭或母頭
表面拋光度………Ra≤0.25μm,可選Ra≤0.18μm(電子拋光)
流量系數(shù)…………Cv=0.15
重量………………1.4kg
材質(zhì)
閥體………………316L不銹鋼
膜片………………哈氏合金
其他過流部件……316L不銹鋼
閥座………………PCTFE

E61梅塞爾高純氣體減壓閥選型說明
E61-M:介質(zhì)不接觸彈簧型。*低限度地減小產(chǎn)生顆粒的可能性。
E61-PS:平膜片型。膜片采用平膜片,特別適合于腐蝕性氣體。閥桿采用更耐腐蝕的哈氏合金,延長使用壽命。
E61-V:**壓力型。適合低壓力應(yīng)用。
E61-M
200
10
P
VCRM
VCRF
M
M
型號
進(jìn)氣壓力P1
出氣壓力P2
表面等級
進(jìn)氣接頭
出氣接頭
進(jìn)氣指示
出氣指示
E61-0
E61-M
E61-PS
E61-V
40-max.40bar
200-max.200bar
 
1.5-max.1.5 bar
4-max.4 bar
10-max.10 bar
P-Ra≤0.25μm
HP-Ra≤0.18μm
VCRM-1/4” VCR公頭
VCRF-1/4”VCR母頭
VCRA-1/4”VCR公頭(固定)
B-無(堵頭)
M-壓力表
K-電接點壓力表
D-壓力傳感器
0-VCR接口

E61尺寸圖



E61梅塞爾高純氣體減壓閥產(chǎn)品特征
為小流量優(yōu)化設(shè)計,內(nèi)表面電子級拋光處理
*小化內(nèi)部容積以縮短吹掃時間
所有過流部件都采用316L不銹鋼、哈氏合金、PCTFE、PVDF材質(zhì)
高精度控制
金屬對金屬密封
通過手柄實現(xiàn)出口壓力限位
100%氦氣檢漏測試
100/10級無塵室內(nèi)組裝
可要求提供SEMASPEC認(rèn)證文件
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