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產(chǎn)品名稱：梅塞爾高純氣體減壓閥
產(chǎn)品型號：E61
產(chǎn)品展商：MESSER
產(chǎn)品文檔：無相關(guān)文檔

簡單介紹

E61梅塞爾高純氣體減壓閥適用于高純氣體的減壓，氣體等級8.0。*大入口壓力200bar，*大出口壓力10bar，Cv流量系數(shù)0.15，接口為1/4"VCR公頭或母頭。E61高純減壓閥有平膜片型，介質(zhì)不接觸彈簧型和**壓力型可選

產(chǎn)品描述

感應(yīng)形式…………膜片式
減壓級數(shù)…………單級
入口壓力…………max. 200bar
出口壓力…………1.5/4/10bar
調(diào)壓方式…………手柄調(diào)節(jié)
接口尺寸…………1/4"VCR公頭或母頭
表面拋光度………R_a≤0.25μm，可選R_a≤0.18μm（電子拋光）
流量系數(shù)…………Cv=0.15
重量………………1.4kg
材質(zhì)
閥體………………316L不銹鋼
膜片………………哈氏合金
其他過流部件……316L不銹鋼
閥座………………PCTFE

E61梅塞爾高純氣體減壓閥選型說明
E61-M：介質(zhì)不接觸彈簧型。*低限度地減小產(chǎn)生顆粒的可能性。
E61-PS：平膜片型。膜片采用平膜片，特別適合于腐蝕性氣體。閥桿采用更耐腐蝕的哈氏合金，延長使用壽命。
E61-V：**壓力型。適合低壓力應(yīng)用。

E61-M	200	10	P	VCRM	VCRF	M	M
型號	進(jìn)氣壓力P₁	出氣壓力P₂	表面等級	進(jìn)氣接頭	出氣接頭	進(jìn)氣指示	出氣指示
E61-0 E61-M E61-PS E61-V	40-max.40bar 200-max.200bar	1.5-max.1.5 bar 4-max.4 bar 10-max.10 bar	P-Ra≤0.25μm HP-Ra≤0.18μm	VCRM-1/4” VCR公頭 VCRF-1/4”VCR母頭 VCRA-1/4”VCR公頭(固定)		B-無（堵頭） M-壓力表 K-電接點壓力表 D-壓力傳感器 0-VCR接口

E61尺寸圖

E61梅塞爾高純氣體減壓閥產(chǎn)品特征
為小流量優(yōu)化設(shè)計，內(nèi)表面電子級拋光處理
*小化內(nèi)部容積以縮短吹掃時間
所有過流部件都采用316L不銹鋼、哈氏合金、PCTFE、PVDF材質(zhì)
高精度控制
金屬對金屬密封
通過手柄實現(xiàn)出口壓力限位
100%氦氣檢漏測試
100/10級無塵室內(nèi)組裝
可要求提供SEMASPEC認(rèn)證文件

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梅塞爾高純氣體減壓閥