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產(chǎn)品名稱:
5英寸近距離蒸發(fā)鍍膜爐
產(chǎn)品型號:
OTF-1200X-RTP-II-5
產(chǎn)品展商:
MTI
產(chǎn)品價格:
0.00 元
簡單介紹
OTF-1200X-RTP-II-55英寸近距離蒸發(fā)鍍膜爐是一款快速熱處理爐，其爐腔體是一直徑為11英寸的石英管。此款設(shè)備專門實(shí)際針對于熱蒸發(fā)或CSS（Close Spaced Sublimation）鍍膜實(shí)驗，其鍍膜面積可達(dá)到5"x5"。此款高溫爐的加熱元件是兩組紅外燈管（分別位于頂部和底部），*大升溫速率為20oC/s 。采用PID方式進(jìn)行溫度調(diào)節(jié)，可設(shè)置30段升降溫程序。儀器面板上安裝有RS485接口，可配用控
5英寸近距離蒸發(fā)鍍膜爐的詳細(xì)介紹
5英寸近距離蒸發(fā)鍍膜爐技術(shù)參數(shù)
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電壓
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輸入：208 - 240VAC, 20 A, 50/60 Hz, 單相 ( < 3200W )
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輸出： 0 - 8VAC （可調(diào)）*大電流： 400A
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*大功率：4000W（包括真空泵）
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真空腔體
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不銹鋼腔體：280mm ID. x 375 mm H，腔體內(nèi)壁做了電拋光處理
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有兩個40mm的觀察窗口（采用無氧銅密封圈密封）
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一個RF-150法蘭，便于放入樣品。
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一個CF150法蘭，可與真空泵相連接
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一個CF-16法蘭
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七個CF-36法蘭，便于安裝真空計、電極和其他用途備用
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真空泵
（點(diǎn)擊圖片查看詳細(xì)資料）
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儀器中包括一臺高抽速的渦輪分子泵
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抽速：600L/S
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真空度：5.0x10-6 torr（泵開啟后40分鐘）
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極限真空度：5.0x10-7 torr（烘烤溫度為100-150℃）
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漏氣率：5.0x10-7Pa./S
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蒸發(fā)加熱源 樣品臺
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5個水冷電極安裝在腔體底部，可支持4個鎢加熱舟
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每個鎢舟上面安裝有可移動的擋板，所以實(shí)驗時可以實(shí)現(xiàn)多源共蒸發(fā)，也可實(shí)現(xiàn)順序蒸發(fā)
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樣品臺安裝在真空腔體頂部，直徑為260mm
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蒸發(fā)源與樣品臺的距離為300mm
   
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測厚儀
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一個高分辨度的薄膜測厚儀安裝在腔體內(nèi)部
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測量精度為：1.0?
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循環(huán)水冷機(jī)
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儀器使用過程中需要通冷卻水，為了節(jié)約用水，強(qiáng)烈建議使用循環(huán)水冷機(jī)
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所需水流量>15L/min
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控制單元
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真空、厚度和輸入電源控制全部集合在一個控制盒內(nèi)
控制單元和真空腔體獨(dú)立分開，以便于操作
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外形尺寸
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L600mm× W860mm× H1500mm
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凈重
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600kg
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質(zhì)保
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一年質(zhì)保期，終生維護(hù)
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質(zhì)量認(rèn)證
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CE認(rèn)證
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