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產(chǎn)品名稱:
2英寸高真空磁控濺射頭
產(chǎn)品型號:
HVMSS-SPC-2-LD
產(chǎn)品展商:
MTI
產(chǎn)品價格:
0.00 元
簡單介紹
HVMSS-SPC-2是一款可安裝直徑為2英寸靶材的磁控濺射頭，可適用的靶材種類較廣，如金屬/絕緣靶材或磁性/非磁性靶材。環(huán)形NdFeB永磁體安裝在濺射頭上，以保證濺射鍍膜的效率和均勻性。此款濺射頭可與DC或RF電源配合使用。
2英寸高真空磁控濺射頭的詳細介紹
技術參數(shù)
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特征
(點擊圖片查看詳細資料）
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- 采用高質量的不銹鋼和陶瓷材料制作
- 采用電磁場的有元計算法來設計永磁體，以得到較高的磁場強度和均強場分布
- 磁體表面涂有一層保護層，以防止冷卻水的腐蝕，延長其使用壽命
- 標準的HN型接頭，可與DC和RF電源相匹配
- 安裝是采用標準真空接頭，便于操作
- 更換靶材較為簡單，無需調整濺射頭的高度
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所需功率
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*大濺射電流
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3A
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濺射電壓
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100-1000 V
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濺射時腔體真空度
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5-100 mTorr
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濺射均勻性曲線圖
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尺寸
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靶材
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- 直徑: 2.0英寸(50.8mm)
- 厚度: 對于非磁性靶材，*大厚度為1/4英寸
對于磁性靶材，*大厚度為1/16英寸
- 靶材利用率：30%
- 磁鐵:NdFeB 稀土磁鐵
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需要冷卻水
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- 流速: 0.8 GPM
- 進水溫度:<20 ℃
- 水管:0.25" OD.
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可選配件
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- 當同時購買300W射頻發(fā)射器和2英寸磁控濺射頭時，本公司會贈送一高真空快速接頭
- 此快速接頭的內(nèi)徑為0.75英寸，可將濺射頭安裝在真空腔體上，真空腔體上的安裝孔直徑為1英寸，真空腔體的壁厚不得大于1英寸
 
- 循環(huán)水冷機，流量為16L / min ，水箱容積為6L
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| 外形尺寸 |
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質保
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一年質保期，終生維護
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