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產(chǎn)品名稱:
小型等離子清洗機
產(chǎn)品型號:
PCE-6
產(chǎn)品展商:
其它品牌
產(chǎn)品價格:
0.00 元
簡單介紹
PCE-6小型等離子清洗機的等離子腔體為?160mm×190mm的石英腔體，采用的射頻電源功率3.0MHz（1%），輸出功率7.2W、10.2W、29.6W三檔可調(diào)。本機主要是通過空氣、氧氣或氬氣等氣體的等離子體來去除基片上的氧化層和污染物，同時也可改變物體表面的性質(zhì)（如親水和疏水性等），對于基片的清洗以及薄膜處理是較為理想的設(shè)備。
小型等離子清洗機的詳細(xì)介紹
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通過控制面板的按鍵及開關(guān)，可控制調(diào)節(jié)射頻功率、真空泵的開閉、清洗時間；
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時間、功率、真空度等信息顯示在一組4位數(shù)碼管上；
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設(shè)有一個三通閥，可**控制進(jìn)氣流量，以及大氣流清洗腔體，進(jìn)氣接口為6mm卡套接口；
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選用大功率射頻電源設(shè)備可進(jìn)行等離子刻蝕和等離子灰化實驗；
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設(shè)備可實現(xiàn)清洗及蝕刻功能如下：
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技術(shù)參數(shù)
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電源
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單相AC220V±10%，頻率：50Hz/60Hz，總功率約600W（含真空泵）
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輸出功率
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7.2W、10.2W、29.6W
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射頻頻率
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3.0MHz，功率3檔可手動調(diào)節(jié)
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等離子腔體
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高純石英腔體，?160mm×190mm，采用鋁制折疊式法蘭進(jìn)行密封，法蘭上設(shè)有?45mm的觀察窗
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真空泵
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標(biāo)配直連式雙旋真空泵，流量120L/min，功率約500W
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極限真空度
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50mtorr
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通入氣體
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可通入多種氣體來產(chǎn)生等離子，如N2、Ar、H2、O2、Air和混合氣體等（根據(jù)材料性質(zhì)選定）
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外形尺寸
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約L400*W300*H300mm（不含真空泵）
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重量
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約10.2kg（不含真空泵）
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