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中頻感應(yīng)電源:25KW,頻率0.2 - 20 KHz
提拉速度:0.1-10mm/h; 旋轉(zhuǎn)速度:0 ~~ 40 RPM
*高熔煉溫度: 2100°C
電源要求: 三相, AC 380V, 100A , 25KW
真空腔尺寸: 50 cm dia. X 70 cm
機(jī)械泵真空度可達(dá)10-3 torr , 擴(kuò)散泵真空度(選配)可達(dá)10-6 torr
歐陸溫控儀可獲得溫度精度< +/-0.2 °C
電子秤 ( 下稱重)在生長(zhǎng)過程中可自動(dòng)控制晶體的直徑
水冷要求
水壓: 0.13~~0.18MPa
水流量: 60 L/minute
爐子尺寸:
爐體: 88 L x 125 W x 285 H, cm
控制單元: 68 L x 54 W x 170 H, cm
中頻感應(yīng)電源: 110 L x 50 W x 150 H, cm
總高度:235cm
重量: 凈重 1.5 噸 運(yùn)輸重量1.8 噸
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