GSL-4Z四通道質(zhì)子流量計(jì)控制系統(tǒng)(控制面板為觸摸屏）
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產(chǎn)品名稱:
GSL-4Z四通道質(zhì)子流量計(jì)控制系統(tǒng)(控制面板為觸摸屏）
產(chǎn)品型號(hào):
GSL-4Z
產(chǎn)品展商:
MTI
產(chǎn)品價(jià)格:
0.00 元
簡單介紹
GSL-4Z是一款多路質(zhì)量流量計(jì)控制系統(tǒng)，其質(zhì)量流量計(jì)和不銹鋼混氣罐都安裝在一個(gè)移動(dòng)柜里，移動(dòng)柜*大可以承重1000Lbs，所以在與本公司大多數(shù)管式爐配套使用時(shí)，可將管式爐置于移動(dòng)柜上以節(jié)約空間。各通道氣路的流量設(shè)定和狀態(tài)顯示都集中在一6"的觸摸屏上，同時(shí)可以實(shí)時(shí)查看氣體流量曲線和數(shù)據(jù)。此款設(shè)備廣泛的用于材料界中CVD實(shí)驗(yàn)和各種材料的退火實(shí)驗(yàn)。
GSL-4Z四通道質(zhì)子流量計(jì)控制系統(tǒng)(控制面板為觸摸屏）的詳細(xì)介紹
技術(shù)參數(shù)
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輸入電源
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AC220V單相/50HZ
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質(zhì)子流量控制器
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流量范圍：
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一路：1—99SCCM
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二路：1—199SCCM
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三路：1—199SCCM
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四路：1—499SCCM
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其他量程可以選定 ，標(biāo)準(zhǔn)的均以N2標(biāo)定（通入其他氣體時(shí)可以根據(jù)說明書中列出的氣體轉(zhuǎn)換系數(shù)，算出所要設(shè)定的氣體流量）。
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工作溫度：5—45℃
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準(zhǔn)確度：±1.5%F.S.
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線性：±（0.5-1.5）%F.S.
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重復(fù)精度：±0.2%F.S.
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控制面板
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各通道的氣路設(shè)定和查看都集中在一6"的觸摸屏上
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可通過觸摸屏設(shè)定每個(gè)通道的氣體流量，實(shí)時(shí)查看各通道的流量曲線和設(shè)定數(shù)據(jù)（點(diǎn)擊圖片查看詳細(xì)資料）
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機(jī)械壓力表
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有一機(jī)械壓力表安裝于前面板上，與混氣罐相連接
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量程：-0.1Mpa—0.15MPa
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氣路接口
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氣路的接口都采用6.35的不銹鋼卡套接頭
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通氣管道
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內(nèi)部連接管道為1/4”不銹鋼管
外部通氣管道為1/4”聚四氟管
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混氣罐
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材料：304不銹鋼 Φ80×120mm
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外形尺寸
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長600×寬745×高700mm
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質(zhì)保期
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一年質(zhì)保期,，終生維護(hù)
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質(zhì)量認(rèn)證
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 CE Certified
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