GSL-4Z混氣系統(tǒng)4路質(zhì)子
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產(chǎn)品名稱:
GSL-4Z混氣系統(tǒng)4路質(zhì)子
產(chǎn)品型號:
GSL-4Z
產(chǎn)品展商:
MTI
產(chǎn)品價格:
0.00 元
簡單介紹
GSL-4Z可以用于控制一種到四種的氣體流經(jīng)真空密封的管式爐，這種氣體控制系統(tǒng)安裝在移動架上，管式爐可以放在GSL-4Z的上面，氣體控制系統(tǒng)的前面板上有控制并顯示氣體流量的調(diào)節(jié)閥。結(jié)合科晶集團(tuán)的管式爐，它可以用于CVD系統(tǒng)及退火爐，用來研究氣體環(huán)境對材料的影響。
GSL-4Z混氣系統(tǒng)4路質(zhì)子的詳細(xì)介紹
技術(shù)參數(shù)
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功能模塊
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項目
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參數(shù)
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混氣系統(tǒng)
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質(zhì)量流量控制器
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工作電壓：185~245V/50Hz
*大輸出功率：18W
控制范圍：
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控制器1：0~100 SCCM
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控制器2：1~199 SCCM
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控制器3：1~199 SCCM
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控制器4：1~499 SCCM
工作溫度：5~45 oC
*大壓力：3x106 Pa
準(zhǔn)確度：±1% FS
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機(jī)械壓力表
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測量范圍：
-0.1~0.15 MPa (0.01 MPa/grid)
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針閥
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316不銹鋼
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混氣罐
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Φ80X120mm
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截止閥
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Φ1/4”316不銹鋼針閥
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尺寸
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600x600x650 mm
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