如果您對(duì)該產(chǎn)品感興趣的話,可以
產(chǎn)品名稱:
雙爐體滑動(dòng)PECVD系統(tǒng)
產(chǎn)品型號(hào):
OTF-1200X-PESDFG-50
產(chǎn)品展商:
科晶
產(chǎn)品價(jià)格:
0.00 元
簡單介紹
雙爐體滑動(dòng)PECVD系統(tǒng)是一款雙爐體滑動(dòng)的PECVD系統(tǒng)，并且連接有循環(huán)手套箱。此款設(shè)備中石英爐管與一循環(huán)手套箱相連接，允許客戶用CVD方法把樣品制作好以后，直接把樣品移入到氣氛保護(hù)環(huán)境下的手套箱中。爐體采用滑動(dòng)式，可在室驗(yàn)中對(duì)樣品進(jìn)行快速加熱和快速冷卻。此款儀器特別適合新一代納米材料和二維晶體材料的探索研究。
雙爐體滑動(dòng)PECVD系統(tǒng)的詳細(xì)介紹
|
技術(shù)參數(shù)
|
|
雙爐體滑動(dòng)PECVD系統(tǒng)爐體結(jié)構(gòu)（點(diǎn)擊圖片查看詳細(xì)資料）
|
● 兩個(gè)爐體在一個(gè)滑軌上面，和通過對(duì)爐體的滑動(dòng)達(dá)到對(duì)樣品快速加熱和快速冷卻的效果
● 連續(xù)工作溫度:1100℃
● 兩個(gè)爐體都可以設(shè)置30段升降溫程序
|
|
等離子體射頻電源
|
● 輸出頻率: 13.56 MHz ±0.005%
● *大射頻功率: 500W
● 匹配: 自動(dòng)匹配
● 噪音: <50 dB.
● 冷卻: 空氣冷卻
● 輸入電源: 208-240VAC, 單相, 50/60Hz
|
|
真空系統(tǒng)
|
● 采用VRD-16的雙旋真空泵, 極限真空10E-3 Torr
● KFD25快接，不銹鋼波紋管，手動(dòng)擋板閥與法蘭，真空泵相連
● 管內(nèi)真空可達(dá)10E-2 Torr
|
|
質(zhì)量流量計(jì)混氣系統(tǒng)
|
● 四個(gè)精密的質(zhì)量流量計(jì)(精度1.5% ) ：數(shù)字顯示，自動(dòng)控制
● MFC1范圍: 0~100 sccm
● MFC2和3: 0~200 sccm
● MFC4范圍: 0~500 sccm
● 一個(gè)混氣罐，底部裝有泄廢液口
● 4 個(gè)不銹鋼針閥安裝在供氣系統(tǒng)的左側(cè)，可手動(dòng)控制4種氣體
● 進(jìn)氣口: 4個(gè)1/4NPS
● 出氣口: 4個(gè) 1/4NPS.
● 采用PLC控制流量計(jì)，通過觸摸屏進(jìn)行控制
● 可選購氣液混合裝置，用于CVD系統(tǒng)
 
  
|
|
爐管&密封法蘭
|
● 高純石英管，尺寸50mm O.D x 44mm I.D x1800 mm L
● 配有一套不銹鋼密封法蘭，并且上面安裝有真空計(jì)
 
|
|
防腐型真空計(jì)
|
● 輸入電源 24V，1A DC（配有一電壓轉(zhuǎn)換器）
● 測量范圍 3.8x10-5 -1125 Torr.
● 數(shù)據(jù)顯示 數(shù)字顯示（屏幕尺寸為20x14mm），其數(shù)據(jù)顯示單位為torr
● 接頭 KF16 接頭
● 產(chǎn)品尺寸 46mm×28mm×126mm ( L x W x H)
|
|
循環(huán)手套箱
|
● 手套箱尺寸：780mm(L) x 700mm(W) x 650mm(H)
● 帶有除水系統(tǒng)：保持水含量< 2 ppm
● 一真空法蘭在手套箱的左邊，與PECVD系統(tǒng)的石英管相連接
  
|
|
質(zhì)保期
|
一年質(zhì)保期，終身維護(hù)（不包含爐管，加熱元件和密封圈）
|
|
質(zhì)量認(rèn)證
|
● CE 認(rèn)證
● 所有電器元件（>24V）都通過 UL / MET / CSA 認(rèn)證
    
|
- 溫馨提示：為規(guī)避購買風(fēng)險(xiǎn)，建議您在購買前務(wù)必確認(rèn)供應(yīng)商資質(zhì)與產(chǎn)品質(zhì)量。
- 免責(zé)申明：以上內(nèi)容為注冊(cè)會(huì)員自行發(fā)布，若信息的真實(shí)性、合法性存在爭議，平臺(tái)將會(huì)監(jiān)督協(xié)助處理，歡迎舉報(bào)
雙爐體滑動(dòng)PECVD系統(tǒng)相關(guān)產(chǎn)品
產(chǎn)品搜索
聯(lián)系方式
產(chǎn)品目錄