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產(chǎn)品名稱:
小型PECVD管式爐系統(tǒng)
產(chǎn)品型號(hào):
OTF-1200X-50S-PE
產(chǎn)品展商:
科晶
產(chǎn)品價(jià)格:
0.00 元
簡(jiǎn)單介紹
OTF-1200X-50S-PE是一款小型的PE-CVD（等離子體氣相沉積）管式爐系統(tǒng)。此套設(shè)備帶有500W的等離子射頻電源，一個(gè)爐管直徑為50mm的開(kāi)啟式管式爐（帶有真空法蘭和連接管道）和一個(gè)直聯(lián)式雙旋機(jī)械泵。因此這套設(shè)備模型可以更新為不同的PECVD系統(tǒng)。對(duì)于有限的經(jīng)費(fèi)的情況下來(lái)進(jìn)行材料探索，此套系統(tǒng)極為理想。
小型PECVD管式爐系統(tǒng)的詳細(xì)介紹
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性能指標(biāo)和基本配置
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開(kāi)啟式管式爐
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● 輸入電源：208 – 240V AC, 1.2kW
● *高工作溫度1200℃（小于1小時(shí)）
● 連續(xù)使用溫度1100℃
● 采用高純氧化鋁作為爐膛材料，并且表面涂有美國(guó)進(jìn)口高溫氧化鋁涂層，可延長(zhǎng)儀器使用壽命和提高加熱效率
● 高純石英爐管，尺寸為 50mmOD x 44mmID x 780mmL
● 可設(shè)置30段升降溫程序，并帶有過(guò)熱和斷偶保護(hù)
● 加熱區(qū)長(zhǎng)度為200mm
注：由于測(cè)量手段及外部環(huán)境的影響，測(cè)量結(jié)果可能會(huì)有偏差，此參數(shù)僅供參考不作為該設(shè)備的技術(shù)指標(biāo)。您購(gòu)買產(chǎn)品需要準(zhǔn)確的數(shù)據(jù)，請(qǐng)與我公司銷售人員聯(lián)系
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等離子體射頻電源
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● 輸出功率: 5 -500W可調(diào)
● 穩(wěn)定性為+/-1%
● 射頻電源頻率13.56 MHZ, 穩(wěn)定性±0.005%
● *大反向功率: 200W max
● 射頻電源電子輸出口: 50 Ω, N型半島體, 陰極
● 噪聲<50 dB.
● 冷卻方式：空氣冷卻
● 輸入電源: 208-240VAC, 50/60Hz
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真空法蘭和接頭
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● 真空法蘭采用304不銹鋼制作
● 左端法蘭上安裝有防腐型數(shù)字真空計(jì)、不銹鋼針閥和一個(gè)球閥。
● 右端法蘭設(shè)計(jì)為KF25接口，上面配有泄氣閥，擋板閥和兩個(gè)KF25卡箍
● 儀器中所配的數(shù)字真空計(jì)，可以不用因使用氣體的不同而進(jìn)行校正，同時(shí)還具有防腐功能
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真空泵
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● AC 220V 50 Hz 1/2HP 375W
● 2L/s
● 與本公司管式爐配套使用，可使其真空度達(dá)到10-2 torr
● 進(jìn)氣端帶有儲(chǔ)氣球（防止回油），出氣端安裝有油霧過(guò)濾器（防止油霧擴(kuò)散到空氣中，保護(hù)環(huán)境和人體健康）
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產(chǎn)品尺寸和重量
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外形尺寸：1500mm x 600mm x 1200mm( L x W x H)
凈重: 160 lbs
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可選配置
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● 請(qǐng)點(diǎn)擊查看下面的混氣及氣液混合系統(tǒng)
● 防腐型小型三路浮子混氣系統(tǒng)
● 精密氣液混合系統(tǒng)
● 三路質(zhì)子混氣系統(tǒng)
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混氣系統(tǒng)
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● 3個(gè)浮子流量計(jì)安裝在一個(gè)移動(dòng)架上，可以推動(dòng)，可同時(shí)混入三種不同氣體。
● 第1路氣體流量范圍為10-100 cc/min.
● 第2路氣體流量范圍為16-160 cc/min.
● 第3路氣體流量范圍為25-250 cc/min.
● 一個(gè)壓力表安裝在移動(dòng)加上，壓力表直接于移動(dòng)架內(nèi)的混氣箱相連接 ，來(lái)監(jiān)測(cè)混合氣體的壓力
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開(kāi)門斷電
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● 為保證使用**，該電爐為開(kāi)門斷電設(shè)計(jì)
 
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應(yīng)用注意事項(xiàng)
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●爐管內(nèi)氣壓不可高于0.02MPa
●由于氣瓶?jī)?nèi)部氣壓較高，所以向爐管內(nèi)通入氣體時(shí)，氣瓶上必須安裝減壓閥，建議在本公司選購(gòu)減壓閥，本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa,使用時(shí)會(huì)更加精-確**
●當(dāng)爐體溫度高于1000℃時(shí)，爐管內(nèi)不可處于真空狀態(tài)，爐管內(nèi)的氣壓需和大氣壓相當(dāng)，保持在常壓狀態(tài)
●進(jìn)入爐管的氣體流量需小于200SCCM，以避免冷的大氣流對(duì)加熱石英管的沖擊
●石英管的長(zhǎng)時(shí)間使用溫度＜1100℃
●對(duì)于樣品加熱的實(shí)驗(yàn)，不建議關(guān)閉爐管法蘭端的抽氣閥和進(jìn)氣閥使用。若需要關(guān)閉氣閥對(duì)樣品加熱，則需時(shí)刻關(guān)注壓力表的示數(shù)，若氣壓表示數(shù)大于0.02MPa，必須立刻打開(kāi)泄氣閥，以防意外發(fā)生（如爐管破裂，法蘭飛出等）
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質(zhì)量認(rèn)證
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CE Certified
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保修期
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一年保修，終身技術(shù)支持。
特別提示：
1.耗材部分如加熱元件，石英管，樣品坩堝等不包含在內(nèi)。
2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內(nèi)。
點(diǎn)擊查看售后服務(wù)承諾書。
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