型 號(hào)
TLSM190
光 源
650nm 半導(dǎo)體激光器可視激光束 1MW max
量程(mm)
0.9-90
精度(um)
±6
線性度(um)
±5
重復(fù)性(um)
±1
分辨力(um)
0.1
掃描速度
1600次/秒
工作溫度
0℃~45℃
尺寸(mm3)
500╳178╳40